[发明专利]抛光剂组合物无效
| 申请号： | 01141168.6 | 申请日： | 1997-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1343752A | 公开（公告）日： | 2002-04-10 |
| 发明（设计）人： | 三蒲司朗;河村笃纪;玉井一诚 | 申请（专利权）人： | 不二见株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/14 | 分类号： | C09G1/14 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 章鸣玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种抛光剂组合物，包含气相二氧化硅、含氮碱性化合物及水，其电导率为100-1,500μs/cm。
2.如权利要求1所述的抛光剂组合物，其特征在于，所述的含氮碱性化合物选自氢氧化铵、硅酸铵、磷酸铵、碳酸铵、硼酸铵、次氯酸铵、次溴酸铵或胺化合物。
3.如权利要求1或2所述的抛光剂组合物，其特征在于，所述的含氮碱性化合物含量为基于抛光剂组合物总量的0.01-1％(重量)。
4.如权利要求1-3之任一项所述的抛光剂组合物，其特征在于，所述的气相二氧化硅具有5-80nm的初级颗粒子平均粒径。
5.一种权利要求1所述的抛光剂组合物的用途，其特征在于，该用途是用于二氧化硅薄膜的抛光。
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