[发明专利]一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜及其制作方法有效
申请号: | 01139287.8 | 申请日: | 2001-12-29 |
公开(公告)号: | CN1359017A | 公开(公告)日: | 2002-07-17 |
发明(设计)人: | 李铁;杨艺榕;王跃林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 潘振甦 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 阶梯 结构 电极 静电 扭转 及其 制作方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜及其制作方法,属于转动微镜领域。
背景技术
静电扭转微镜是改变光行进方向,实现光路切换和光扫描的有效工具,被广泛应用在光开关、扫描仪、照相机等产品中。
静电扭转微镜通常包括微镜1、扭梁2、驱动电极3三个部分,如图1所示。其运动方程如下:
式中,θ为扭转角度,I为扭梁和微镜的转动惯量,η为阻尼系数,Mr为扭梁的回复力矩,Me为静电驱动力矩。扭梁的回复力矩与扭梁的材料、弹性系数、形状相关。静电力矩则与电极的形状、大小、与微镜的距离等相关。
目前的静电扭转微镜主要有图2和图3所示的两种,通常采用体硅工艺或表面硅工艺制作。
图2的静电扭转微镜结构中,底电极与微镜平行,其静电力矩为:
式中L为微镜长度,x为底电极与微镜的距离,D为电极最远端的距离,V是驱动电压,d0为微镜中心与电极边的距离。
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