[发明专利]空气动压轴承及其光偏转器

权利要求书

1.一种空气动压轴承，包括：轴构件、可相对回转地支承该轴构件的轴承构件以及在这些轴构件与轴承构件的对置面间形成的由空气产生动压作用的动压发生槽，

其特征在于，所述轴承构件由烧结合金形成，在所述轴构件和所述轴承构件中至少一方的所述对置面上配置有固体润滑材料。

2.如权利要求1所述的空气动压轴承，其特征在于，所述轴承构件由以铜或铁为主要成分的烧结合金形成。

3.如权利要求1所述的空气动压轴承，其特征在于，所述固体润滑材料配置成润滑膜形态，该润滑膜由至少混有从氟、碳、二硫化钼中选择的1种树脂构成。

4.如权利要求1所述的空气动压轴承，其特征在于，所述固体润滑材料做成电沉积涂膜的形态，所述电沉积涂膜由混合有下列(a)～(d)中1种共聚物和双顺丁烯二酰亚胺树脂的含氟树脂电沉积涂料构成，

(a)丙烯酸或甲基丙烯酸的氟化烷基酯

(b)丙烯酸或甲基丙烯酸的氨基衍生物

(c)丙烯酸或甲基丙烯酸的羟基衍生物

(d)苯乙烯、丙烯酸或甲基丙烯酸的酯

5.如权利要求1所述的空气动压轴承，其特征在于，所述固体润滑材料是混入所述烧结合金用金属粉末后烧结而成的固体润滑粉末。

6.如权利要求5所述的空气动压轴承，其特征在于，所述固体润滑粉末是从碳石墨、二硫化钼和氮化硼中选择的至少1种，

所述固体润滑材料是将混合有该固体润滑粉末的树脂混入所述金属粉末后烧结而成。

7.如权利要求1所述的空气动压轴承，其特征在于，所述动压发生槽沿轴承轴线方向形成。

8.一种光偏转器，具有：回转多面镜和回转自如地支承该回转多面镜的空气动压轴承，

其特征在于，所述空气动压轴承采用权利要求1的结构。

9.如权利要求8所述的光偏转器，其特征在于，所述回转多面镜安装在所述空气动压轴承的所述轴构件侧，该轴构件在其轴中心具有中空部。

10.如权利要求9所述的光偏转器，其特征在于，所述轴构件通过使金属板塑性变形来形成所述中空部。