[发明专利]用于化学汽相淀积的有机金属化合物及其制造方法,贵金属膜及贵金属化合物膜的化学汽相淀积法

权利要求书

1.一种用于通过化学汽相淀积法制造钌膜或钌化合物膜的有机金属化合物，其中用于化学汽相淀积的有机金属化合物是下式1表示的烷基环戊二烯基(环戊二烯基)钌：

                           式1其中，取代基R₁代表正丙基、异丙基、正丁基、异丁基和叔丁基中任一烷基。

2.一种制造如权利要求1所述的用于化学汽相淀积的有机金属化合物的方法，该方法包括使式2表示的二(环戊二烯基)钌与式3表示的醇反应：

                           式2

               R₁-OH    式3其中，取代基R₁代表正丙基、异丙基、正丁基、异丁基和叔丁基中任一烷基。

3.一种用于通过化学汽相淀积法制造铱膜或铱化合物膜的有机金属化合物，其中：用于化学汽相淀积的有机金属化合物是下式4表示的烷基环戊二烯基(1，5-环辛二烯)铱：

                        式4其中，取代基R₂代表正丙基、异丙基、或正丁基、异丁基和叔丁基中的任何烷基。

4.一种制造如权利要求3所述的用于化学汽相淀积的有机金属化合物的方法，该方法包括使下式5表示的二(1，5-环辛二烯氯铱)与下式6表示的烷基环戊二烯钠反应：

                             式5

                             式6其中，取代基R₂的定义和上面所述相同。

5.一种用于贵金属膜或贵金属化合物膜的化学汽相淀积的方法，该方法包括下列步骤：将如权利要求1或3所述的有机金属化合物蒸发，将其转移到基材上，并通过加热分解该有机金属化合物。

6.如权利要求5所述的用于贵金属膜或贵金属化合物膜的化学汽相淀积的方法，其特征在于在含氧气的气氛中蒸发的所述有机金属化合物分解。