[发明专利]显示器制造中的平板玻璃的检查系统

说明书

发明领域

本发明涉及一种平面式、薄的物品的检查系统，它具有至少一个非接触式的，尤其是带有至少一个摄像机和至少一个照明单元的光学扫描装置及具有至少一个用来将物品相对于扫描装置移动的传送装置。本发明尤其涉及制造显示器制造业的平板玻璃的检查系统，因此，下面的话题主要是指平板玻璃，但不仅限于此。

背景技术

在用制造例如用于显示屏和类似物品的平板玻璃时，需要检查玻璃缺陷。这不仅适用于透明的载体材料，也适合于所涂覆的涂层。检查系统通常具有一个光学扫描装置，其中，至少一个摄像机在明视场、暗视场或用透射光法由至少一个照明单元照明。在此，平板玻璃线性地从通常构成为扫描摄像机的摄像机旁移过，以便对平板玻璃逐行扫描。所获得的图象数据被输送到一个数据处理设备，在该设备中完成图象分析和缺陷识别。

在摄像机与平板玻璃相对运动方面需注意几个问题。平板玻璃在300×400mm至800×1000mm的大面积伸展情况下相对较薄，因此需要大面积支撑，以便保持玻璃平整，即没有扭曲和弯曲。否则就不再能顺利地使用光学检查系统。仅在通常现成的操作边缘上进行支撑不足以防止扭曲。因此可考虑，将平板玻璃通过伸展至整个宽度的辊或传动带传送。

不过，平板玻璃表面，尤其涂层对外界机械影响非常敏感。因此无法避免由辊或传动带，例如通过存在于辊或传动带上的颗粒或类似物，损坏或弄脏表面。

此外必须确保，要测定的表面处在距摄像机隔确定的间隔内，因为必须对要进行缺陷辨识的表面清晰地成象。在所要求的分辨率下，这导致所规定的表面到镜头之间的间隔公差范围很小。

发明内容

本发明的目的在于，将开头所述形式的检查系统这样设置，即在表面距摄像机间隔达到高精确度情况下实现安全传送。

按照本发明，上述目的将通过以下方式达到，即物品至少在扫描装置的区域内处在一个气垫上，该气垫在距扫描装置基本精确的间隔内保持确定的厚度。借助该气垫，实现平板玻璃的非接触支撑，由此，一方面使其保持平直状态。另一方面，可靠避免敏感表面损坏。已证明，平板玻璃在其下方均匀分布的气垫作用下，除保持平直的传送方向外，还保持确定的间隔。因此可以以很小的公差范围保持对扫描装置的距离。传送装置可紧贴在平板玻璃的操作边上并实现传送运动。

扫描装置通常沿行探测物品。气垫至少在行前或行后基本上伸展至行的整个长度就足够了。由此实现，平板玻璃尤其在光学扫描区内有为平直取向的理想支承。在扫描前或后的其它传送过程中，只要能够避免对平板玻璃的机械接触，就可以是点状的气垫，或者横向或纵向于传送方向的条型气垫。

足够稳定的气垫可具有0.5至2mm，优选1mm的厚度。这个厚度完全足以在较大的面积时也能确保其安全传送。

在产生气垫的细节上，原则上是任意的。不过，气垫要求足够稳定和均匀，以便保持所希望的恒定厚度。形成气垫的气流不应当太强，以避免平板玻璃的所不希望和不可控制的运动。

按照本发明的第一种实施形式，气垫通过用气体介质，尤其是压缩空气对带孔板施压形成，该板在背向物品一侧设有至少一个覆盖所述孔的过滤装置。这具有以下优点，即盖板可以用简单的方式由一个平坦的孔板形成。过滤装置一方面起到净化气垫的气体介质的作用，另一方面，使流过孔的空气均匀分布。由此可以在不变的厚度下达到所期望的气垫稳定性。

过滤装置可以是无纺布、塑料织物、泡沫塑料或类似物。它们最好是可更换的，以便太脏时更换。

按照本发明的第二实施形式，气垫通过用气体介质，尤其空气对微孔板施压形成。在此，盖板可由烧结材料，尤其金属材料构成。孔的内径尺寸为8.0至20.0μm，最好是10.0至15.0μm。令人惊奇的是，通过用气体介质对这种带孔材料施压可在其对面侧形成稳定气垫的恒定气流。多孔材料同时过滤气体，因此避免了弄脏要测定表面。另一优点在于，多孔材料表面可切削加工。因此可达到所需的表面精度。

按照本发明的一优先实施形式，气垫用清洁空气形成。其优点是，避免了通过由空气带入或散播的颗粒弄脏平板玻璃。板孔、过滤装置及(多孔材料)孔隙不会很快堵塞。

可以设置一个框，在框中安排一个或多个板和/或一个具有透气部分和不透气部分的板，用以产生气垫，它们的朝向物品的表面在一个与水平面倾斜成0°至几乎90°，最好至80°的平面内伸展。传送装置在几乎垂直的方向可具有被驱动和带动的辊，平板玻璃的前边紧贴在其上面。不过，也可设置被驱动的夹紧件，它使平板玻璃的操作边保持夹紧。也可以设置被驱动和带动的轮，平放的平板玻璃的操作边贴在其上。