[发明专利]一种光纤预制棒的制造方法

权利要求书

1、一种光纤预制棒的制造方法，其特征是：它是由等离子体化学气相沉积和管外气相沉积两种工艺混合制造光纤预制棒的方法，它包括以下步骤：

A、采用等离子体化学气相沉积方法制备芯棒；

B、采用管外气相沉积方法制备包层，即得坯棒；

C、将坯棒进行烧结，即得到光纤预制棒。

2、权利要求1的一种光纤预制棒的制造方法，其特征是：等离子体化学气相沉积制备芯棒方法是将含反应原料的气体通入石英玻璃衬管中，经过微波耦合将衬管中的反应气体激发成等离子态进行反应，在衬管内表面沉积形成玻璃态，当衬管中沉积了足够层数的玻璃膜后，将该衬管置于热源中加热，使之熔缩成一实心预制件，即为芯棒。

3、权利要求1或2的光纤预制棒制造方法，其特征是：熔缩所用的热源可以是氢气和氧气混合燃烧形成的氢氧焰。

4、权利要求1或2的光纤预制棒制造方法，其特征是：熔缩所用的热源可以是电发热体。

5、权利要求1的一种光纤预制棒的制造方法，其特征是：管外气相沉积方法制备包层是将反应原料通过输送系统送到反应腔，用氢氧焰进行火焰水解，在芯棒上沉积反应产物SiO2粉尘，得到的坯棒。

6、权利要求1的一种光纤预制棒的制造方法，其特征是：坯棒烧结过程是将坯棒按纵轴方向垂直吊挂起来，缓慢伸入加热炉中通入氦气以置换出部分或全部坯棒粉尘捕获的气体，同时通入氯气置换粉尘空隙中残存的水气和粉尘表面的羟基。