[发明专利]光学信息载体的制造方法及制造装置

说明书

本发明涉及制造只读光盘、光学记录盘等光学信息载体的方法和该方法所用装置。

近年来，为了在只读光盘与光学记录盘等的光学记录载体上记录或保存动画信息等大量信息，要求通过提高记录密度而使载体高容量化，与之对应地，高记录密度化的研究开发盛行起来。

其中之一就是有人提出了，如在DVD中看到的那样，缩短记录重现波长并且增大记录重现光学系统的物镜的数值孔径(NA)，从而缩小记录重现时的激光束光斑直径。如果把DVD与CD做比较，记录重现波长从780nm变为650nm，数值孔径NA从0.45变为0.6，从而获得了6-8倍的记录容量(4.7GB/面)。

可是，当如此提高数值孔径NA时，倾斜极限会缩小。倾斜极限是光学记录载体相对光学系统的倾斜允许度，它由NA决定。设记录重现波长为λ，记录重现光入射的透明基体的厚度为d，倾斜极限等于λ/(d·NA³)。当光学记录载体相对激光束倾斜时，即发生倾斜时，发生了波面象差(光行差)。设基体的折射率为n，倾斜角为θ，波面象差系数用以下公式表示，

(1/2)·d·{n²·sinθ·cosθ}·NA³/(n²－sin²θ)^-5/2根据这些公式，为了抑制倾斜极限增大以及光行差的发生，基体厚度d要缩小。实际上，在DVD中，基体厚度是CD基体厚度(约1.2毫米)的一半(0.6毫米左右)，从而确保了倾斜极限。

可是，有人提出了为了长时间记录更高品质的动画图象而能进一步减薄基体的方案。这种结构将普通厚度的基体用作保持刚性的支承基体，在其表面上形成了凹坑和记录层，在记录层上，作为薄基体地设置了约0.1毫米厚的透光层，记录重现光通过该透光层射入。在这种结构下，与过去相比，由于显著减薄基体，所以可以实现高数值孔径NA的高记录密度。具有这样结构的载体例如记载于特开平10-320859号公报及特开平11-120613号公报中。

通过设置厚0.1毫米左右的透光层，可以使用数值孔径NA大小如为0.85左右的物镜。

作为约厚0.1毫米的透光层的形成方法地例举出旋涂法(スピンコ-ト)。在采用旋涂法的场合下，把树脂供给固定在转架上的盘片基板的表面，使盘片基板转动，通过离心力铺展开树脂。为了在盘片基板上形成了在填充驱动装置时所用的中心孔，不能把树脂供给转动中心(盘片基板的中央)，而是离转动中心等距离地成环状地供应树脂。可是，树脂供应位置离转动中心越远，透光层在径向上的厚度差越大。

为了减小透光层在径向上的厚度差，有人提出了利用板状件、圆板部、塞板、盖等堵塞机构堵塞盘片基板的中心孔并在该堵塞机构的中央附近即在转动中心附近供应树脂的方案(特开平10-320850号公报、特开平10-249264号公报、特开平10-289489号公报、特开平11-195250号公报、特开平11-195251号公报)。

不过，在特开平10-320850号公报、特开平10-249264号公报、特开平11-195250号公报中记载的不是堵塞机构的板件或盖在旋涂后要被取出的方法，这在工业应用上有困难。

相反地，在特开平10-249264号公报中记载的是堵塞机构的圆板部在旋涂后被通过冲落或电磁铁吸附而被取出。但是，利用冲落及电磁铁的取出的过程很麻烦。此外，由于取出时的堵塞机构的加速度大，所以容易在树脂涂膜上产生紊乱。

而在上述特开平11-195251号公报中记载了在圆形盖中央一体化形成支承体的堵塞机构。在该公报中记载了因设置该支承体而使堵塞机构的拆装及位置配合变容易了。该支承体是具有至少一个孔的中空筒状体，或是多个棒形件。当树脂被注入由中空筒内部或多个棒形件包围的区域后，使盘片基板与堵塞机构成一体旋转地在盘片基板上形成了树脂层。如果采用该堵塞机构，则堵塞机构的取出变容易了。