[发明专利]可控制推力的作动器

权利要求书

1．一种可控制推力的作动器，包括：升降自如地支承在装置本体上的推杆和产生用于使该推杆升降的推力的推力发生装置，其特征是：

上述推杆通过空气静压轴承以非接触状态支承在装置本体的轴承部上，

上述推力发生装置，具备：安装在上述推杆上、与该推杆一起变位的磁铁；设置在上述装置本体上，由于通电而产生磁力的线圈，该推动发生装置是一种通过由这些磁铁和线圈所产生的磁力的相互作用而产生上述推力的动磁铁式的推力发生装置。

2．如权利要求1所记载的作动器，其特征是：上述推力发生装置具有两个磁铁和能产生大小相异的推力且能分别控制其供电的两个线圈，用其中一个线圈控制以推杆的重量为主的大负荷，用其中另一个线圈控制以推杆的升降为主的小负荷。

3．如权利要求1所记载的作动器，其特征是：由两组空气静压轴承在上下两处支承上述推杆，同时在这些空气静压轴承之间配设上述推力发生装置，该推力发生装置上的上述磁铁嵌装在推杆的外周，设置上述线圈使其包围该磁铁的外周。

4．如权利要求1所记载的作动器，其特征是：上述装置本体具有在内部具备推杆孔的筒状的外壳部分，设置上述推杆，使其贯通该外壳部分的推杆孔，在上述外壳部分的上下两端分别设有上述轴承部，同时，在这些轴承部之间的外壳部分，设有上述推力发生装置，该推力发生装置上的上述磁铁，嵌装在推杆的外周，另外，设置上述线圈使其在上述外壳部分的内部包围上述磁铁的外周。

5．如权利要求4所记载的作动器，其特征是：上述推力发生装置具有两个磁铁和能产生大小相异的推力且能分别控制其供电的两个线圈，上述两个磁铁相互保持间隔安装在上述推杆的外周，设置上述两个线圈，使其在上述外壳部分的内部分别包围一个磁铁。

6．如权利要求1所记载的作动器，其特征是：上述推杆是能自如旋转的，而且上述装置本体具有用于使该推杆旋转的电机，该电机的旋转轴和上述推杆通过虽然能传递相互间的旋转但由允许轴向相对移动的联轴器相互连接着。

7．如权利要求1所记载的作动器，其特征是：在上述装置本体和上述推杆之间设有通过推杆的变位加压的负载传感器，使其能将该负载传感器的输出反馈给推力发生装置的驱动系。

8．如权利要求7所记载的作动器，其特征是：使加压部靠近上述推杆地将上述负载传感器安装在设置于装置本体上的支承座上，在上述加压部安装有触头，在上述推杆上固定有与上述触头接触的凸缘状的接触件。