[发明专利]真空绝缘开关装置及其制造方法

说明书

本发明涉及真空绝缘开关装置，特别是在覆盖真空容器的浇注绝缘物的表面通过喷镀形成导电被膜的真空绝缘开关装置及其制造方法。

作为应用于开关装置绝缘物表面的技术，电气学会技术报告(2部)第259号p.37有所记载，如图10所示，在浇注有导体11和真空管12的固体绝缘开关的绝缘物13的表面设有接地层。

图中，14是导电膜层，15是控制部，16是操作机构，17是插入装置，18是二次开关拴，19是隔离部，20是电缆头，21是零相电流互感器，22是电流互感器，23是绝缘母线。

此外，在特开昭61-109411号公报中，公开了如图11所示在绝缘物表面形成导电化层的方法，是一种在气体容器内的绝缘物的屏蔽罩的表面蒸镀、喷镀Zn或Pb的方法。

即，在图11中，内封有绝缘性气体-SF₆气体的接地箱体、即容器24内具有导体25，与绝缘子26一体浇注成型，通过绝缘子26被支撑在箱体内。27也是导体，通过触头28与导体25实现电的连接。

电解缓和用的屏蔽罩29围绕两个导体25、27的连接部，通过螺栓30固定在导体25上。螺栓30不仅将屏蔽罩29与导体25机械固定，而且对屏蔽罩29和导体25的连接固定面施加压力，使屏蔽罩29与导体25二者紧密接触而实现二者的电气连接。

即，电解缓和用屏蔽罩29采用塑料件，塑料件29是以导电化手段、即导电层29b将塑料形成的主体29a覆盖而具有导电性。

另外，还有特开平2-303311号公报所公开的、如图12所示对绝缘物的电场控制环的表面进行导电性涂料的涂布、Zn喷镀、真空蒸镀、阴极真空喷镀或金属电镀等方法。

图中，31是气体容器，32是导体，33是绝缘子，34是导体，35是触头，36是电场控制环，电场控制环36由控制环本体36a和导体覆膜36b构成。

由于现有的真空绝缘开关装置如上构成，因此存在着如下问题，即，由于导电性涂料从耐久性的观点来说有时需要重新进行涂布，涂布需要使用溶剂，故干燥耗费时间，不仅制造成本高，而且从保护环境考虑应避免使用。

而蒸镀和真空喷镀是在真空罐体内形成被膜的，不适于大批量生产和大型件的加工，而且，由于被膜的形成速度缓慢，故处理时间也长，导致制造成本高。

而金属电镀为湿式作业，故遮挡和后续工序的干燥费时费力，而且大型件还存在因电镀容器和输送机等原因无法进行处理的问题。

而喷镀是在大气中将熔融金属吹到绝缘体表面上而形成被膜的方法，虽然是一种比较简便且廉价的方法，但Pb的使用具有毒性而从保护环境考虑应避免使用。

Zn的喷镀由于不仅耐热性差而且会形成金属须，故不能用于电场集中的部位。

此外，由于喷镀被膜的端面较薄，电场容易集中，而且当喷镀被膜的表面上喷镀剂与绝缘体的密接性差的场合，因喷镀材料从绝缘体表面脱离或附着在绝缘体表面而有可能导致绝缘强度降低。

本发明旨在解决上述问题，其目的是提供能够以低成本进行生产并且形成有高可靠性导电被膜的真空绝缘开关装置。

此外，本发明的目的是提供制造能够以低成本进行生产并且形成有高可靠性导电被膜的真空绝缘开关装置的制造方法。

本发明所提供的真空绝缘开关装置这样构成，即，具有：容纳开关部的真空容器，覆盖该真空容器的浇注绝缘体，以及覆盖上述浇注绝缘体表面的导电被膜；上述导电被膜是将从Al、Cu、Ag、Ni、Cr、Fe、Ti、Zr所组成的群组中所选择的至少一种金属在大气中喷镀到上述浇注绝缘体的表面上而形成。

此外，本发明所提供的真空绝缘开关装置这样构成，即，具有：容纳开关部的真空容器，覆盖该真空容器的浇注绝缘体，以及覆盖上述浇注绝缘体表面的导电被膜；上述导电被膜是将从Al、Cu、Ag、Ni、Cr、Fe、Ti、Zr所组成的群组中所选择的至少一种金属的氧化物在大气中喷镀到上述浇注绝缘体的表面上而形成。

此外，本发明所提供的真空绝缘开关装置这样构成，即，具有：容纳开关部的真空容器，覆盖该真空容器的浇注绝缘体，以及覆盖上述浇注绝缘体表面的导电被膜；上述导电被膜是将从Al、Cu、Ag、Ni、Cr、Fe、Ti、Zr所组成的群组中所选择的至少一种金属与从上述群组中所选择的至少一种金属的氧化物二者的混合物在大气中喷镀到上述浇注绝缘体的表面上而形成。