[发明专利]盘装置

权利要求书

1.盘装置，其特征在于：设有隔开间隔相向的下部基板和上部基板、设在上述一方基板上并由电动机驱动旋转的转台、设在另一方基板上并把盘推压在上述转台上的夹头、使至少一方基板在离开另一方基板位置与接近另一方基板的位置间移动的升降转换机构；

设有连动部件，该连动部件可转动地支承在上述一方基板的侧部，在两基板接近和/或分开时，由另一方基板使该连动部件转动，由上述连动部件的转动力，使设在上述一方基板上的驱动部件作动，进行盘的夹持动作。

2.如权利要求1所述的盘装置，其特征在于，在至少一方基板上，设有将上述连动部件的转动力变换为沿基板面方向的转动力的方向变换部件，借助该方向变换部件的动作，上述驱动部件朝着沿基板面的方向移动。

3.如权利要求1所述的盘装置，其特征在于，设有将盘定位在转台上的定位部件，盘被夹持在转台上后，上述驱动部件使上述定位部件移动到离开盘的退避位置。

4.盘装置，其特征在于，设有隔开间隔相向的下部基板和上部基板、设在上述下部基板上并由电动机驱动旋转的转台、设在上述上部基板上并把盘推压在上述转台上的夹头、使上部基板在离开下部基板的位置与接近下部基板的位置间移动的升降转换机构；

设有连动部件，该连动部件可转动地支承在上部基板的侧部，在两基板接近和/或分开时，由下部基板使该连动部件转动，上述连动部件的转动力，使设在上部基板上的驱动部件作动，进行盘的夹持动作。

5.如权利要求4所述的盘装置，其特征在于，在上述上部基板上，设有将上述连动部件的转动力变换为沿基板面方向的转动力的方向变换部件，借助该方向变换部件的动作，上述驱动部件朝着沿基板面的方向移动。

6.如权利要求5所述的盘装置，其特征在于，上述连动部件可转动地安装在上部基板上，在连动部件上，设有与方向变换部件接合的第1接合销和与下部基板接合的第2接合销，在上部基板接近下部基板时，连动部件使方向变换部件转动，使驱动部件移动。

7.如权利要求4所述的盘装置，其特征在于，上述夹头相对于上部基板可上下方向移动。

8.如权利要求7所述的盘装置，其特征在于，在上述上部基板上，设有将上述连动部件的转动力变换为沿基板面方向的转动力的方向变换部件，借助该方向变换部件的动作，上述驱动部件朝着沿基板面的方向移动。

9.如权利要求8所述的盘装置，其特征在于，上述连动部件可转动地安装在上部基板上，在连动部件上，设有与方向变换部件接合的第1接合销和与下部基板接合的第2接合销，在上部基板接近和/或离开下部基板时，连动部件使方向变换部件转动，而使驱动部件移动，使夹头相对于上部基板移动。

10.如权利要求4所述的盘装置，其特征在于，在上述上部基板上，设有将盘定位在转台上的定位部件，在盘被夹持在转台上后，由上述驱动部件使上述定位部件向离开盘的退避位置移动。

11.盘装置，其特征在于，设有隔开间隔相向的下部基板和上部基板、设在上述下部基板上并由电动机驱动旋转的转台、设在上部基板上并把盘推压在上述转台上的夹头、使上部基板在离开下部基板的位置与接近下部基板的位置间移动的升降转换机构；

设有连动部件，该连动部件可转动地支承在上部基板的侧部，在两基板接近和/或分开时，被下部基板转动，在上部基板上设有将盘定位在转台上的定位部件；

借助上述连动部件的转动力，使设在上部基板上的驱动部件的动作，借助该驱动部件的动作，使上述定位部件向离开盘的退避位置移动。

12.如权利要求11所述的盘装置，其特征在于，在上述上部基板上，设有将上述连动部件的转动力变换为沿基板面方向的转动力的方向变换部件，借助该方向变换部件的动作，上述驱动部件朝着沿基板面的方向移动。

13.如权利要求12所述的盘装置，其特征在于，上述连动部件可转动地安装在上部基板上，在连动部件上，设有与方向变换部件接合的第1接合销和与下部基板接合的第2接合销，在上部基板接近下部基板时，连动部件使方向变换部件转动，而使驱动部件移动。

14.如权利要求11所述的盘装置，其特征在于，设置上述夹头相对于上部基板可上下方向移动。