[发明专利]用于光束扫描器的位相板

权利要求书

1.一种用于光束扫描器的位相板，其特征在于包括：

<1>含有一对互补的塔尔波特位相编码结构透光的正位相板(201)和负位相板(202)的位相板(2)；

<2>所说的位相板(2)中的正位相板(201)与负位相板(202)是平行并列置放，两者之间有间距Du≥0.5微米；

<3>所说的塔尔波特位相编码结构的正位相板(201)相对负位相板(202)的表面上带有周期重复的正二次位相函数分布的s≥1条正栅线(2011)，所说的负位相板(202)相对正位相板(201)带有正栅线(2011)的表面上带有周期重复的负二次位相函数分布的s≥1条负栅线(2021)；

<4>所说的正位相板(201)或负位相板(202)上带有编程控制移动装置(4)控制的移动器(3)，正负位相板(201,202)两者相对它们的中心轴线(O₁O₁,O₂O₂)可以相互平行移动。

2．根据权利要求1所述的用于光束扫描器的位相板，其特征在于所说的一条正或负的栅线(2011,2021)相当一个周期d，每个周期d内分割成M等分，一个周期d内含有L个位相台阶数，每个位相台阶的宽度d₁、d₂、…、d_M均相等，即d₁=d₂=…=d_M=d/M；相邻两个位相台阶的厚度不相等，但在一个周期d内是对称分布，因此相邻两个位相台阶厚度差表示为： h k - h k - 1 = r ( 2 k + 1 ) M λ ( n - 1 ) , ]]>式中λ为入射于位相板上光波的波长，n为位相板基底的折射率，h_k为第k个位相台阶的高度，r为大于或等于1的正整数，是二次位相函数的特征参数。对于上述分割数M为偶数时，位相分布函数为： φ ( k ) = r × k 2 M π , k = 1 , 2 , . . . , M , - - - - - ( 1 ) ]]>对于上述分割数M为奇数时，位相分布函数为： φ ( k ) = r × k ( k - 1 ) M π , k = 1 , 2 , . . . , M , - - - - - ( 2 ) ]]>上述二次位相分布的特征参数r为：p×r=k_r×M+1，…………………………………………………(3)上式中P,r和M均为大于或等于1的正整数，k_r为大于或等于零的正整数，p＜M,p与r具有互换性。