[发明专利]改善有机蒸发镀膜成膜性能的方法

权利要求书

1、一种改善有机蒸发镀膜成膜性能的方法，其特征是在有机蒸发镀膜成膜方法上，采用一种辅助沉积方法，所用的方法包括增加蒸发分子的能量，加大分子的迁移率，和轰击有机层膜，抑制、减少和消除有机层柱状结构的形成；所述的方法具体地是在蒸发镀膜的密闭容器内，增设一种装置，该装置使蒸发源上被蒸发的有机分子能量增加，同时轰击有机层，给有机层分子提供额外的激活能。

2、根据权利要求1所述的改善有机蒸发镀膜成膜性能的方法，其特征是所用的辅助沉积方法是离子辅助沉积，利用离子具有的能量，传递给蒸发分子，使分子迁移率变大，同时轰击有机层，将有机层“轰平”；离子作用在分子上的能量为上0.1ev～10ev。

3、根据权利要求2所述的改善有机蒸发镀膜成膜性能的方法，其特征是所述的离子辅助沉积方法所使用的装置是考夫曼源。

4、根据权利要求1所述的改善有机蒸发镀膜成膜性能的方法，其特征是所用的辅助沉积方法是电场辅助沉积，利用辅加电场增加蒸发分子能量，加大分子迁移率，消除有机层柱状结构；电场装置安装在衬底和蒸发源之间，并尽量靠近衬底。

5、根据权利要求4所述的改善有机蒸发镀膜成膜性能的方法，其特征是安装在衬底和蒸发源的电场装置是两片相对金属板，形状可以是长方形的，外接电源电压为1000伏～3000伏。

6、根据权利要求5所述的改善有机蒸发镀膜成膜性能的方法，其特征是使用霓虹灯电源并加一调压器调节输出电压。