[发明专利]具有碳纳米管的场致发射阵列和制造场致发射阵列的方法

权利要求书

1．一种场致发射阵列，包括：

背板组件，背板组件包括背板；在背板上形成的条形阴极；和在阴极上形成的彼此间有预定距离的碳纳米管；和

前板组件，前板组件包括前板；在前板上形成的条形阳极；在阳极上淀积的荧光体；和非导电板，非导电板具有对应于阳极且彼此分开预定距离的多个开口；在非导电板上形成的条形栅极，所述栅极与阳极条垂直且具有对应于多个开口的多个发射开口；和隔板，用于支撑具有栅极的非导电板并按预定的距离使它和背板隔开，

其中，背板组件和前板组件彼此组合在一起，以使阴极上的碳纳米管按距栅极的预定距离经过发射开口突出。

2．一种场致发射阵列，包括：

背板组件，背板组件包括背板；在背板上形成的条形阴极；和在阴极上形成的彼此间有预定距离的碳纳米管；和

前板组件，前板组件包括前板；在前板上形成的条形阳极；在阳极上淀积的荧光体；上和下非导电板，分别具有彼此分开预定距离且对应于阳极的多个开口；在下非导电板上形成的条形栅极，所述栅极与阳极条垂直且具有对应于多个开口的多个发射开口，其中栅极与碳纳米管之间的距离相对较小；和隔板，用于支撑上非导电板并按预定的距离使它和背板隔开，

其中，背板组件和前板组件彼此组合在一起，以使阴极上的碳纳米管按距栅极的预定距离经过发射开口突出。

3．一种场致发射阵列，包括：

背板组件，背板组件包括背板；在背板上形成的条形阴极；和在阴极上形成的彼此间有预定距离的碳纳米管；和

前板组件，前板组件包括前板；在前板上形成的条形阳极；在阳极上淀积的荧光体；非导电板，非导电板具有对应于阳极且彼此分开预定距离的多个开口；在非导电板上形成的条形栅极，所述栅极与阳极条垂直且在通过多个开口露出的非导电板的上侧壁上延伸；和隔板，用于支撑具有栅极的非导电板并按预定的距离使它和背板隔开，    

其中，背板组件和前板组件彼此组合在一起，以使阴极上的碳纳米管按距栅极的预定距离经过发射开口突出。

4．一种制造场致发射阵列的方法，包括：

形成背板组件，背板组件包括背板；在背板上形成的条形阴极；和在阴极上形成的彼此间有预定距离的碳纳米管；

形成前板组件，前板组件包括前板；在前板上形成的条形阳极；在阳极上淀积的荧光体；非导电板，非导电板具有对应于阳极且彼此分开预定距离的多个开口；在非导电板上形成的条形栅极，所述栅极与阳极条垂直且具有对应于多个开口的多个发射开口；和隔板，用于支撑具有栅极的非导电板并按预定的距离使它和背板隔开，和

把背板组件和前板组件彼此组合在一起，以使阴极上的碳纳米管按距栅极的预定距离经过发射开口突出。

5．如权利要求4的方法，其中形成背板组件包括：

通过形成薄膜在背板上淀积金属层，和把该金属层构图为条形阴极；和

在阴极上按彼此间预定的距离淀积碳纳米管。

6．如权利要求4的方法，其中形成前板组件包括：

在前板上淀积金属层，和把该金属层构图为条形阳极；

在阳极上淀积荧光体；

在非导电板上形成栅极；和

利用隔板把具有栅极的非导电板与具有阳极和荧光体的前板组合在一起，以使非导电板与前板彼此分开预定的距离。

7．如权利要求6的方法，其中在非导电板上形成条形栅极包括：

在非导电板中形成彼此按预定距离分开的多个孔；和

在具有多个孔的非导电板上淀积金属层，和把金属层构图为具有对应于多个孔的多个发射开口的条形栅极。

8．如权利要求6的方法，其中在非导电板上形成条形栅极包括：

在下非导电板中形成彼此按预定距离分开的多个孔；

在具有多个孔的下非导电板上淀积金属层，和把金属层构图为具有对应于所述孔的多个发射开口的条形栅极；和

在具有栅极的下非导电板上安装具有多个孔的上非导电板，以使上非导电板的多个孔对应于发射开口。

9．如权利要求6的方法，其中在非导电板上形成条形栅极包括：

在下非导电板中形成彼此按预定距离分开的多个孔；和

通过倾斜淀积方法在通过多个孔露出的下非导电板的顶部和上侧壁上淀积金属层，和把金属层构图为具有对应于所述孔的多个发射开口的条形栅极。