[发明专利]利用电子回旋共振产生远紫外的方法无效
| 申请号: | 01111139.9 | 申请日: | 2001-03-19 |
| 公开(公告)号: | CN1375857A | 公开(公告)日: | 2002-10-23 |
| 发明(设计)人: | 马钟仁;张彬;张卫平 | 申请(专利权)人: | 兰州长城高压电子工程有限公司 |
| 主分类号: | H01J65/04 | 分类号: | H01J65/04;A23L3/28;A61L2/10;H05H13/00 |
| 代理公司: | 甘肃省专利服务中心 | 代理人: | 徐筱梅 |
| 地址: | 730000 *** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 利用 电子 回旋 共振 产生 紫外 方法 | ||
1、一种利用电子回旋共振产生远紫外的方法,其特征在于它包括以下步骤:
a、设置微波谐振腔体
腔体用金属网制作,能透过紫外而不能透过微波;用民用波段2.45 G赫兹微波源作为电子回旋共振的加速能源,微波管采用100~500W小功率的磁控管;
b、设置磁镜场
用钕铁硼永磁体构建电子回旋共振所需的磁镜场,并采用软铁垫片将磁场场形垫补为能有效约束等离子体的极小B形态,共振场强为860~865高斯;
c、石英球
将直径为5~10厘米的密封石英球内抽至10-3Pa,同时充入低压支撑气体氩等惰性气体,压强在10-3~1Pa之间,并可掺入工作物质汞、氙或置入重金属盐;
d、产生电子回旋共振
石英球置于微波谐振腔体中,微波谐振腔体安置在相对的两磁极之间,电场方向与磁场方向垂直。
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