[发明专利]聚合物配混料及其制备方法,光敏组合物及制备图案的方法

权利要求书

1．一种聚合物配混料，该聚合物配混料含有由式(Ⅰ)-(Ⅲ)表示的单体单元：

其中R₁-R₄分别是氢和/或甲基；P表示1-10之间所含的一个整数；X表示氢、碱金属或由式(1)表示的铵：

其中R₅-R₈分别表示氢、C₁-C₃的烷基或C₁-C₃的烷醇基；并且多个X_s可以彼此相同或不同，

这些单体单元的组成比例在下述范围之内：2％摩尔≤l≤73％摩尔；8％摩尔≤m≤83％摩尔；和15％摩尔≤n≤80％摩尔。

2．一种权利要求1的聚合物配混料，该聚合物配混料除含有由式(Ⅰ)-(Ⅲ)表示的单体单元以外，还含有10％摩尔或更少的其它单体单元。

3．一种制备含有由式(Ⅰ)-(Ⅲ)表示的单体单元的聚合物配混料的方法：

其中R₁-R₄分别是氢和/或甲基；P表示1-10之间所含的一个整数；X表示氢、碱金属或由式(1)表示的铵：

其中R₅-R₈分别表示氢、C₁-C₃的烷基或C₁-C₃的烷醇基；并且多个X_s可以彼此相同或不同，这些单体单元的组成比例在下述范围之内：2％摩尔≤l≤73％摩尔；8％摩尔≤m≤83％摩尔；和15％摩尔≤n≤80％摩尔，

该方法包括，将缩水甘油基(甲基)丙烯酸酯，以预定的量加入到包含至少(甲基)丙烯酸和至少(甲基)丙烯酸-2-羟乙基酯和聚氧乙烯单(甲基)丙烯酸酯的一种的共聚物中。

4．一种权利要求3的制备聚合物配混料的方法，其中，N-亚硝基苯基羟基胺铵盐和4-羟基-2,2,6,6-四甲基-1-烃氧基哌啶的至少一种被用作聚合抑制剂。

5．一种光敏组合物，含有作为组分的、如权利要求1所述的聚合物配混料。

6．一种权利要求5的光敏组合物，含有作为溶剂的水。

7．一种权利要求5的光敏组合物，含有可聚合的单体。

8．一种权利要求5的光敏组合物，含有着色剂。

9．一种权利要求5的光敏组合物，含有光聚合引发剂和光敏剂的至少一种。

10．一种制备图案方法，该方法包括，用如权利要求5所述的光敏组合物制成涂料膜，并用水，即中性显影剂显影。