[发明专利]废水处理方法及用于该方法的废水处理装置

权利要求书

1．一种废水处理方法，其特征在于包括把含有：含氮有机化合物的废水喷雾到被加热的空间并对废水实行实质上完全气化的第1工序；和用催化剂接触氧化在第1工序所得的气体并把所述含氮有机化合物作为氮气、二氧化碳及水蒸汽排出的第2工序。

2．根据权利要求1所述的废水处理方法，其特征在于所述第1工序通过加热到100℃以上进行。

3．根据权利要求1或2所述的废水处理方法，其特征在于所述的催化剂含有A成分、B成分和C成分；所述A成分为含有氧化钛和/或氧化钛·二氧化硅的氧化物，所述B成分为从由钒、钨、钼、铈及铁所构成的一组中选择至少一种的金属氧化物，所述C成分为从由铂、钯、铱、铑、钌、锰、铬及铜所构成的一组中选择至少一种金属或其氧化物。

4．根据权利要求1或2所述的废水处理方法，其特征在于第2工序在100-400℃、以空速500-50000小时^-1，通过供给被处理气体进行。

5．根据权利要求1或2所述的废水处理方法，其特征在于除去在第1工序没被气化的固体物质后，进行第2工序。

6．根据权利要求1或2所述的废水处理方法，其特征在于所述含氮有机化合物为氢氧化四(烷基)铵。

7．根据权利要求1或2所述的废水处理方法，其特征在于在所述废水中含有抗蚀剂材料的溶解成分。

8．一种废水处理装置，其特征在于设置具有为喷雾废水的喷雾器所构成的废水气化机构，导入废水并通过所述气化机构排出被气化的废水气化部、填充接触氧化由该气化部所排出的被处理气体的催化剂并且排出由该催化剂所氧化的处理气体的反应部以及连接该气化部和该反应部的气体管道。

9．根据权利要求8所述的废水处理装置，其特征在于还具有除去在所述气化部没被气化的固体物质的前处理部。

10．根据权利要求9所述的废水处理装置，其特征在于在所述前处理部填充从氧化铝、二氧化硅、氧化钛及氧化锆中所选择的至少一种。

11．根据权利要求8、9或10所述的废水处理装置，其特征在于所述催化剂含有A成分、B成分和C成分；所述A成分为含有氧化钛和/或氧化钛·二氧化硅的氧化物，所述B成分为从由钒、钨、钼、铈及铁所构成的一组中选择至少一种的金属氧化物，所述C成分为从由铂、钯、铱、铑、钌、锰、铬及铜所构成的一组中选择至少一种金属或其氧化物。

12．根据权利要求8、9或10所述的废水处理装置，其特征在于所述气化机构有加热用加热器。

13．根据权利要求8、9或10所述的废水处理装置，其特征在于所述气化机构利用与由所述反应部所排出的排气进行热交换。