[发明专利]显示装置用基板及其制造方法、以及液晶装置及电子设备

说明书

本发明涉及在显示装置中使用的显示装置用基板、该显示装置用基板的制造方法、使用了该显示装置用基板的液晶装置及使用了该液晶装置的电子设备。

无源矩阵型液晶装置，一般是通过将结构为在基板上形成多个并行排列的显示用电极及用于与各显示用电极导电连接并施加电压的配线的2个平板基板彼此相对地配置成使各基板上的显示用电极相互构成栅格状而形成。

另外，结构为按附属于各象素的方式形成薄膜二极管(Thin FilmDiode:TFD)的有源矩阵型液晶装置，通过将作为一对基板的元件基板及对置基板彼此相对地配置而形成。在这种情况下，在上述元件基板上形成TFD、与该TFD连接的配线、及作为显示用电极的的象素电极。此外，在上述对置基板上形成多个并行排列的显示用电极、及用于与各显示用电极导电连接并施加电压的配线。上述元件基板及对置基板，相对地配置成使元件基板上的象素电极与对置基板上的显示用电极相互重叠。

在上述现有的液晶装置中，伴随着显示的高清晰度化及尽可能减小显示区域以外的区域的所谓画面边框狭窄化，与显示用电极连接的配线变得越来越微细。最近以来，随着这种配线的微细化，配线的电阻增加，而且从驱动电路施加的电压在配线上的电压降已达到不能忽视的程度。

另外，在无源矩阵型液晶装置中，大多采用STN(Super TwistedNematic；超扭曲向列)型液晶，但这种液晶装置的显示特别易受驱动电压细微变化的影响。此外，配线，与显示用电极导电连接并连续地形成，通常由用作显示用电极的透明导电膜、例如ITO(Indium TinOxide；铟锡氧化物)膜构成，并与显示用电极同时形成。其结果是，显示用电极与配线，通常形成为膜厚大致相等的透明导电膜。

可是，配线的线宽因如上所述的微细化而越来越细，为了减小该配线路径上的电阻，应考虑增加配线的膜厚。但是，为了增加配线的膜厚，将使膜形成所需的时间增加。此外，当增加配线的膜厚时，与其同时形成的显示用电极的膜厚也会增加，所以降低了显示用电极的透光率。

本发明，是鉴于上述问题而开发的，其目的是解决显示装置用基板上的以下3个课题中的至少一个，即减低配线上的电阻、增加显示用电极的透光率、缩短形成显示用电极及配线所需的时间

(1)本发明的显示装置用基板，备有多个显示用电极、及用于对上述多个显示用电极施加电压的多条配线，该显示装置用基板的特征在于：上述配线，具有由与上述显示用电极为同一层的透明的导电层构成的透明导电层与由电阻低于上述透明导电层的金属构成的金属层的层叠结构。

具有上述结构的显示装置用基板，由于使配线为透明导电层与金属层的层叠结构，所以，与仅以透明导电层形成配线的情况相比，可以减低配线的电阻。因此，采用了本显示装置用基板的液晶装置，因配线上的电压降而导致显示质量降低的可能性很小。

另外，由于不需要为减小配线电阻而增加透明导电层的膜厚，所以不会使大多是与配线的透明导电层同时形成的显示用电极的膜厚增加到超过必要的厚度。因此，与只增加透明导电层的厚度从而减小配线电阻的情况相比，可以提高显示用电极的透光率。

进一步，与只增加透明导电层的厚度从而减小配线电阻的情况相比，可以减小用作显示用电极及配线的透明导电层的厚度，所以能够缩短形成显示装置用基板所需要的时间。

(2)在结构如以上第(1)项所述的显示装置用基板上，上述显示用电极，可以具有由透明的导电层构成的透明导电层与由电阻低于上述透明导电层的金属构成的金属层的层叠结构。

这样，如使显示用电极为透明导电层与金属层的层叠结构，则与只用透明导电层形成的情况相比，可以减低显示用电极的电阻。此外，由于不需要为减小显示用电极的电阻而增加透明导电层的膜厚，所以可以提高显示用电极的透光率。

(3)在结构如以上第(2)项所述的显示装置用基板上，上述显示用电极的上述金属层，其宽度最好比上述透明导电层的宽度窄。按照这种结构，几乎不会使显示的亮度降低，并可以减小显示用电极的电阻。

(4)在结构如以上第(1)项或第(2)项所述的显示装置用基板上，上述显示用电极，可以具有上述透明导电层与上述金属层的层叠结构，在这种情况下，在该层叠结构的部分上，上述金属层具有局部的开口。

如将本结构的显示装置用基板用作构成液晶装置的一对基板中的背面侧基板，则由于使光通过显示用电极的开口部而另一方面则由显示用电极的金属层部分对光进行反射，所以可以形成半透反射型液晶装置。此外，由于在金属层的开口部上也存在着由透明导电层形成的显示用电极，所以在与开口部对应的区域上不会对施加于液晶的电场造成干扰。