[发明专利]测定坐标测量仪中测量误差的方法和坐标测量仪计量器

权利要求书

1.一种用于测定坐标测量仪中测量误差的方法，其中探针头沿三个相互正交的仪器轴相对于待测量物体移动，包括：

第一步骤，在坐标测量仪的测量台上放置所述测量仪计量器，所述计量器具有多个球，所述球的中心在一相对于计量器的参考轴倾斜的直线上至少排成一行，所述参考轴处于一虚拟参考面内并沿所述虚拟参考面延伸，设置该计量器使得所述虚拟参考面与坐标测量仪的三个仪器轴之一平行并使得所述虚拟参考面与坐标测量仪的剩下两仪器轴任一轴平行；

第二步骤，用所述测量仪测量每个球中心相对于所述两仪器轴的坐标；

第三步骤，将所述计量器绕所述参考轴旋转180度，并再次将计量器放置在坐标测量仪的测量台上；以及

第四步骤，用所述测量仪再测量每个球中心相对于两仪器轴的坐标。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述的两仪器轴中的一个轴是X仪器轴，两仪器轴中另一个轴是Y仪器轴，进一步包括：根据第二步骤中获得的在垂直于计量器参考轴方向上所述球中心的Y仪器轴坐标以及第四步骤获得的所述球中心的Y仪器轴坐标，测定已测定的X仪器轴的平直度，所述测定步骤包括：

在第一计算步骤中，计算在所述第二和第四步骤中获得的所有球的Y仪器坐标之间的差值；

确定在第一计算步骤中获得的所有球的最大和最小差值；以及

在第二计算步骤中，计算在所述确定步骤中确定的最大和最小值之间的差值。

3.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

从在第二步骤中获得的相对于两仪器轴的所述球中心坐标计算第一回归线，由此计算第一回归线和参考轴之间的角度θ；

从在第四步骤中获得的相对于两仪器轴的所述球中心坐标计算第二回归线，由此计算第二回归线和参考轴之间的角度θ’；

以及通过计算(θ-θ’)/2以便测定与虚拟参考面平行的两仪器轴的相互正交性。

4.一种坐标测量仪计量器，用于实现沿至少两仪器轴的测量，所述的测量仪具有包括探针头的探针，所述计量器包括；

多个球，其与探针头接触排列；以及

支撑所述球的支架，使得所述球的中心沿至少一条倾斜于的参考轴并且沿虚拟参考面延伸的线延伸，所述参考轴位于虚拟参考面内，所述支架能连接到坐标测量仪上，使得虚拟参考面平行于所述两仪器轴，并使得参考轴平行于两仪器轴中之一轴。

5.如权利要求4所述的计量器，其中所述的至少一条线包括两条线，所述支架由具有两非平行侧面的梯形块构成，每侧面各平行于两条线中的一条；所述球沿所述两条线排列和固定。

6.如权利要求4所述的计量器，其中，所述的至少一条线包括两条线；所述的支架由具有非平行侧面的梯形通孔的块构成，每侧面各平行于所述的两条线中的一条；所述的球沿所述的两条线排列和固定。