[发明专利]化学放大型正光刻胶组合物

权利要求书

1．一种化学放大型正光刻胶组合物，含有树脂(X)，其本身不溶于碱或微溶于碱，但当被酸作用后可溶于碱，其具有(a)一种衍生于1-金刚烷基-1-烷基烷基(甲基)丙烯酸酯的聚合单元，由下式(Ⅰ)表示：其中，R¹表示氢或甲基，R²和R³分别独立地表示具有1-4个碳原子的烷基，R⁴和R⁵分别独立地表示氢、羟基或烷基，(b)衍生于脂环烯烃的聚合单元，由下式(Ⅱ)表示：其中R⁶、R⁷分别表示氢、具有1-3个碳原子的烷基，具有1-3个碳原子的羟基烷基，羧基，氰基，或-COOR⁸表示的基团，其中R⁸表示醇残基，或R⁶和R⁷一起形成由-C(=O)OC(=O)-表示的羧酸酐残基，和(c)衍生于选自马来酸酐和衣康酸酐的不饱和二羧酸酐的聚合单元；和产酸剂(Y)。

2．按照权利要求1的正光刻胶组合物，其中1-金刚烷基-1-烷基烷基(甲基)丙烯酸酯为1-(1-金刚烷基)-1-甲基乙基丙烯酸酯。

3．按照权利要求1的正光刻胶组合物，其中式(Ⅰ)中的R¹为氢。

4．按照权利要求1的正光刻胶组合物，其通过包括从其衍生出式(Ⅰ)聚合单元的1-金刚烷基-1-烷基烷基(甲基)丙烯酸酯；从其衍生出式(Ⅱ)聚合单元的脂环烯烃；和选自马来酸酐和衣康酸酐的不饱和二羧酸酐的单体进行共聚获得，其中基于共聚中使用的所有单体总量，1-金刚烷基-1-烷基烷基(甲基)丙烯酸酯的用量为5-60％摩尔，脂环烯烃和不饱和二羧酸酐的用量为10-95％摩尔。

5．按照权利要求1的正光刻胶组合物，其中所述树脂(X)进一步含有衍生于1-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯的聚合单元，由下式(Ⅴ)表示：其中R⁹表示氢或甲基，R¹⁰表示氢或羟基。

6．按照权利要求5的正光刻胶组合物，其中式(Ⅴ)中的R⁹为氢。

7．按照权利要求1的正光刻胶组合物，其中还进一步含有胺化合物作为猝灭剂。