[发明专利]半导体晶片,抛光装置和方法无效
| 申请号： | 00820029.7 | 申请日： | 2000-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1461251A | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | E·博维奥;P·科尔贝利尼;M·莫尔甘蒂;G·内格里;P·D·阿尔布雷克特 | 申请（专利权）人： | MEMC电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 马江立;吴鹏 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 晶片 抛光 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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