[发明专利]显微制造的器件中的移位的磁传感

权利要求书

1.一种磁传感单元，用于测量微型器件中的可动部分(10)和固定部分(12)之间的位移，包括：

具有磁场的磁性元件(1)；以及

磁传感器(2)；

所述磁性元件(1)位于可动部分(10)上，所述磁传感器(2)位于所述固定部分(12)上；或者所述磁传感器(2)位于可动部分(10)上，所述磁性元件(1)位于所述固定部分(12)上；

所述磁传感器(2)和/或所述磁性元件(1)是所述微型器件的一个集成部分，以及

所述磁性元件(1)和所述磁传感器(2)彼此相对配置，当所述可动部分(10)位移时，通过利用所述磁传感器(2)可检测在所述磁传感器(2)处的所述磁场的变化。

2.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，与磁性元件(1)相对配置磁传感器(2)。

3.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，利用磁传感器(2)的检测是一种无接触检测。

4.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，由间隙(13)将可动部分(10)与固定部分(12)分开。

5.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，磁性元件(1)是一永久磁铁。

6.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，磁性元件(1)包括一磁性层(1)，优选由硬磁材料制成。

7.根据权利要求6所述的一种磁传感单元，其特征在于，磁性层(1)具有一矩形横断面和/或一个厚度，使得通过利用磁传感器(2)能检测磁场梯度。

8.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，将磁传感器(2)集成到可动部分(10)或固定部分(12)之中或顶部，使得磁传感器(2)是微型器件中的一个集成部分。

9.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，该微型器件包含硅，磁传感器(2)集成到硅之中。

10.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，磁传感器(2)是一霍尔传感器、磁控晶体管、磁控二极管或一大型的磁致电阻传感器。

11.根据权利要求10所述的一种磁传感单元，其特征在于，磁传感器(2)是一霍尔传感器，该霍尔传感器具有平面或圆柱形几何形状。

12.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，磁传感器(2)的配置，使磁传感器(2)和后续的测量器件能够确定磁场的磁场梯度。

13.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，可动部分(10)和固定部分(12)是由相同材料制成的。

14.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，可动部分(10)通过利用附着装置(14a，14b)优选通过支臂附着到固定部分(12)，所述附着装置(14a，14b)使可动部分(10)能自由位移。

15.根据权利要求14所述的一种磁传感单元，其特征在于，附着装置(14a，14b)包含一孔口(15)或窄道。

16.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，磁性元件(1)和磁传感器(2)配置在微型器件内部，使得机械放大作用提高了所述磁传感单元的灵敏度。

17.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，可动部分(10)伸入微型器件的固定部分(12)中。

18.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，可动部分(10)和固定部分(12)配置在相同平面内，可动部分(10)中伸入固定部分(12)的长度比伸出固定部分(12)的长度更长。

19.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，该微型器件包括多个可动部分(10)，以及每个可动部分至少一个磁性元件(1)和至少一个磁传感器(2)。

20.根据权利要求1所述的一种磁传感单元，其特征在于，由一曲折形间隙将磁性元件(1)与磁传感器(2)分开。

21.根据前述任一权利要求所述的一种磁传感单元，其特征在于，其构成为微型机械器件的一部分，例如悬臂梁或存储器件中的浮动的读写头。