[发明专利]压电陶瓷执行元件及其制造方法无效
| 申请号： | 00811398.X | 申请日： | 2000-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1369115A | 公开（公告）日： | 2002-09-11 |
| 发明（设计）人： | 洛塔尔·亨内肯;阿明·格洛克;于尔根·哈肯贝格 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博施有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/083 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 陶瓷 执行 元件 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.压电陶瓷执行元件(1)，主要由压电陶瓷薄膜片(2)的一个整体堆垛和安置在这些膜片之间的内电极(3)组成，这些内电极在形成至少两个相互电气分开的电极组的情况下在堆垛外侧面上相互电连接，其特征在于，内电极(3)分别在堆垛外侧面的一个区域上具有板条式接续部(4)。
2.如权利要求1所述的执行元件，其特征在于，接续部(4)由电解沉积的金属形成。
3.如权利要求1或2所述的执行元件，其特征在于，每个板条式接续部(4)由一个镍或镍合金层(4′)以及一个向外连接的金层(4″)组成。
4.如权利要求1或2所述的执行元件，其特征在于，每个板条式接续部(4)用铜制成。
5.如权利要求1或2所述的执行元件，其特征在于，每个板条式接续部(4)用锡银合金制成。
6.用于制造如权利要求1所述的压电陶瓷执行元件的方法，其特征在于，通过将内电极(3)作为阴极连接并将整体堆垛放入一个电解浴中，接续部(4)电化学制成。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，为了形成接续部(4)，首先沉积镍或镍合金，在另一个浴中沉积金。
8.如权利要求6所述的方法，其特征在于，为了形成接续部(4)，沉积铜或锡银合金。
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