[发明专利]水平通过式装载的倒置压力容器

权利要求书

1.一种用来实施工业过程的压力容器系统，包括：

开式支撑框架，

固定在所述开式支撑框架上的倒置压力容器，

垂直移动的下面盖板，以及

在向上与所述倒置压力容器闭合的位置和向下与所述压力容器开启的位置之间移动所述盖板的装置，所述压力容器的内部和当所述盖板处于向下开启位置时盖板和所述倒置压力容器之间的空间是操作环境。

2.根据权利要求1所述的压力容器系统，进一步包括远离所述操作环境定位的机械锁定系统，在当所述盖板处于所述向上闭合的位置时，所述锁定系统可在锁定位置和未锁定位置之间操作，当所述锁定系统处于所述锁定位置时，所述盖板的位置被机械限制到所述向上闭合位置。

3.根据权利要求2所述的压力容器系统，所述系统进一步包括遮蔽隔离所述操作环境和所述移动所述盖板和所述锁定系统的装置。

4.根据权利要求3的压力容器系统，进一步包括给所述压力容器施加热量的装置。

5.根据权利要求4的压力容器系统，进一步包括当密封时在所述压力容器内施加及释放压力的装置。

6.根据权利要求5的压力容器系统，进一步包括当密封时将处理成分从所述压力容器移出以及插入到所述压力容器中的装置。

7.根据权利要求6的压力容器系统，适合与自动物体操作系统一起使用，用来将物体运送到所述系统在所述压力容器中进行处理。

8.根据权利要求6的压力容器系统，适合与传送器系统一起使用，用来将物体运送到所述系统在所述压力容器中进行处理。

9.根据权利要求2的压力容器系统，所述锁定系统包括相对的水平滑动块和致动器，所述滑动块在所述锁定位置和所述未锁定位置之间滑动。

10.根据权利要求2的压力容器系统，所述锁定系统包括在所述盖板下面垂直延伸的锁定杆，与所述锁定杆的底端连接的非旋转锁定杆夹板，所述夹板具有在其周界均匀隔开的指向外的支持突缘，与所述盖板下面的所述开式支撑框架旋转连接的水平定向并可旋转的锁定板，所述锁定板具有中心开口及在中心开口周围均匀隔开的指向中心的锁定突缘，当所述盖板移动到所述闭合位置时，所述夹板穿过所述锁定板，所述锁定板具有致动器，致动器使所述锁定板在其中所述锁定突缘对准下面的支持突缘的所述锁定位置和在其中所述锁定突缘没有对准所述支持突缘的所述未锁定位置之间部分旋转。

11.一种在超临界流体环境中处理半导体晶片的压力容器系统，包括：

开式支撑框架，

固定在所述开式支撑框架上的倒置压力容器，

垂直移动的下面盖板，

在向上与所述倒置压力容器闭合的位置和向下与所述压力容器开启的位置之间移动所述盖板的装置，所述压力容器的内部和当所述盖板处于向下开启位置时盖板和所述倒置压力容器之间的空间是操作环境，

远离所述操作环境定位的机械锁定系统，在当所述盖板处于所述向上闭合的位置时，所述锁定系统可在锁定位置和未锁定位置之间操作，当所述锁定系统处于所述锁定位置时，所述盖板的位置被机械限制到所述向上闭合位置，

遮蔽隔离所述操作环境和所述移动所述盖板和所述锁定系统的装置，

给所述压力容器施加热量的装置，

当密封时将处理成分从所述压力容器移出以及插入到所述压力容器中的装置。

12.根据权利要求11的压力容器系统，适合与自动物体操作系统一起使用，用来将物体运送到所述系统在所述压力容器中进行处理。

13.根据权利要求11的压力容器系统，适合与传送器系统一起使用，用来将物体运送到所述系统在所述压力容器中进行处理。

14.根据权利要求11的压力容器系统，所述锁定系统包括相对的水平滑动块和致动器，所述滑动块在所述锁定位置和所述未锁定位置之间滑动。