[发明专利]闪烁器面板和放射线图象传感器

说明书

技术领域

本发明涉及用于医疗用的X射线摄影等的闪烁器面板和放射线图象传感器。

背景技术

以前，在医疗，工业用的X射线摄影中，可以用X射线感光底片，但是考虑到便利性和摄影结果的保存性，现在正在普及用放射线检测器的放射线成象系统。在这种放射线成象系统中，用放射线检测器取得由两维放射线产生的象素数据变换而成的电信号，通过处理装置对该信号进行处理后在监视器上显示出来。

作为有代表性的放射线检测器，存在着具有将在铝，玻璃，融化石英等的基片上形成闪烁器的闪烁器面板和摄像元件粘合在一起的构造的放射线检测器。在这种放射线检测器中，用闪烁器将从基片一侧入射的放射线变换成光后由摄像元件检测出来(请参照日本平成7年公布的7-21560号专利公报)。

可是为了在放射线检测器上得到鲜明的图象，必须用光输出足够大的闪烁器面板，但是在上述放射线检测器中光输出都不足够大。

发明内容

本发明的课题是提供使光输出增大的闪烁器面板和用使光输出增大的闪烁器面板的放射线图象传感器。

本发明的闪烁器面板的特征是备有透过放射线的基片，设置在上述基片上的反射性金属薄膜，覆盖上述反射性金属薄膜全体的保护膜，和堆积在上述保护膜上的闪烁器。如果根据本发明的闪烁器面板，则因为反射性金属薄膜全体被保护膜覆盖，所以能够防止由于在闪烁器中含有的很少水分引起的变质等，从而能够防止反射性金属薄膜作为反射膜的功能减退。因此，能够维持增大了的闪烁器面板的光输出。

又，本发明的闪烁器面板的特征是备有透过放射线的基片，设置在上述基片上的反射性金属薄膜，设置在上述反射性金属薄膜上的保护膜，和堆积在除上述保护膜上的边缘部分外的位置上的闪烁器。如果根据本发明的闪烁器面板，则因为闪烁器与反射性金属薄膜是隔开的，所以能够防止由于在闪烁器中含有的很少水分引起的变质等，从而能够防止反射性金属薄膜作为反射膜的功能减退。因此，能够维持增大了的闪烁器面板的光输出。

又，本发明的闪烁器面板的特征是反射性金属薄膜是由包含Al，Ag，Cr，Cu，Ni，Ti，Mg，Rh，Pt和Au的一组物质中的物质的材料形成的膜。

又，本发明的闪烁器面板的特征是保护膜是由包含LiF，MgF₂，SiO₂，TiO₂，Al₂O₃，MgO，SiN和聚酰亚胺的一组物质中的物质的材料形成的膜。

又，本发明的闪烁器面板的特征是保护膜是由包含上述Al，Ag，Cr，Cu，Ni，Ti，Mg，Rh和Pt的一组物质中的物质的材料形成的氧化膜。

又，本发明的闪烁器面板的特征是保护膜是由例如SiN等的无机膜和例如聚酰亚胺等的有机膜形成的膜。

又，本发明的闪烁器面板的特征是闪烁器被有机膜覆盖。如果根据本发明的闪烁器面板，则能够提高闪烁器的耐湿性。

又，本发明的闪烁器面板的特征是基片表面的至少一部分被有机膜覆盖。如果根据本发明的闪烁器面板，则与有机膜只覆盖闪烁器的情形比较，能够进一步提高闪烁器的耐湿性。

又，本发明的闪烁器面板的特征是进一步整个基片表面都被有机膜覆盖。如果根据本发明的闪烁器面板，则与有机膜覆盖闪烁器和基片表面至少一部分的情形比较，能够进一步提高闪烁器的耐湿性。

又，本发明的闪烁器面板的特征是与闪烁器面板相对置地配置摄像元件。如果根据本发明的放射线图象传感器，则因为闪烁器面板能够维持增大了的光输出，所以能够维持放射线图象传感器的输出。

又，本发明的闪烁器面板的特征是备有玻璃制的基片，设置在上述基片上的反射膜，堆积在上述反射膜上的闪烁器，和覆盖上述闪烁器的透明有机膜。

如果根据本发明的闪烁器面板，则因为用玻璃制的基片，即便在大面积化的情形中也能够使基片保持某种程度的钢性，所以能够抑制当在基片上形成闪烁器时基片的弯挠，从而能够提闪烁器面板的性能。

又，本发明的闪烁器面板的特征是进一步基片表面的至少一部分被透明有机膜覆盖。如果根据本发明的闪烁器面板，则与有机膜只覆盖闪烁器的情形比较，能够进一步提高闪烁器的耐湿性。

又，本发明的闪烁器面板的特征是进一步整个基片表面都被透明有机膜覆盖。如果根据本发明的闪烁器面板，则与有机膜覆盖闪烁器和基片表面至少一部分的情形比较，能够进一步提高闪烁器的耐湿性。