[发明专利]在晶体生长过程中使用的硅熔体的钡掺杂无效
申请号: | 00805047.3 | 申请日: | 2000-03-14 |
公开(公告)号: | CN1166822C | 公开(公告)日: | 2004-09-15 |
发明(设计)人: | R·J·飞利普斯;S·J·克勒特尼尔;J·D·赫德尔 | 申请(专利权)人: | MEMC电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王杰 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体生长 过程 使用 硅熔体 掺杂 | ||
【说明书】:
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