[发明专利]用于汽相沉积的截头衬托器无效
| 申请号： | 00804723.5 | 申请日： | 2000-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN1143907C | 公开（公告）日： | 2004-03-31 |
| 发明（设计）人： | 格伦·S·所罗门;戴维·J·米勒;泰特苏佐·于达 | 申请（专利权）人： | CBL技术公司;松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B25/14;C30B25/02;C23C16/458;C30B25/16 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 严舫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 衬托 | ||
【权利要求书】：
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