[发明专利]半导体器件有效
| 申请号: | 00804230.6 | 申请日: | 2000-02-23 |
| 公开(公告)号: | CN1341279A | 公开(公告)日: | 2002-03-20 |
| 发明(设计)人: | 平野孝;山本景寿;番场敏夫;真壁裕明 | 申请(专利权)人: | 住友电木株式会社 |
| 主分类号: | H01L23/29 | 分类号: | H01L23/29;H01L21/312;H01L21/027;G03F7/022;G03F7/038;G03F7/075;C08G69/42;C08G73/22 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 杜京英 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体器件 | ||
1.一种半导体器件,包括:
(a)用于芯片保护的聚苯并噁唑树脂薄膜,它通过在电路形成芯片上涂覆正光敏树脂组合物,和将涂覆的组合物进行图形化并固化获得,所述正光敏树脂组合物包括100重量份下面通式(1)表示的聚酰胺和1至100重量份光敏重氮醌化合物,和
(b)凸点电极:其中X为四价芳基;Y为二价芳基;Z为(R1和R2各自为二价有机基团,R3和R4各自为单价有机基团);E为具有至少一个链烯基或链炔基的羧基脂族、脂环族或芳族基团;a和b各自为摩尔分数,a+b=100mol%,a=60.0至100.0mol%,b=0至40.0mol%,和n=2至500。
2.根据权利要求1的半导体器件,其中正光敏树脂组合物包含下面通式(2)表示的双酚化合物和下面通式(3)表示的三酚化合物,其总量为1至30重量份:其中R5和R6各自为氢原子或烷基,R7、R8、R9和R10各自为选自氢原子、卤原子、羟基、烷氧基、环烷基和烷基的原子或基团,和其中R11为氢原子或烷基;R12、R13、R14、R15、R16和R17各自为选自氢原子、卤原子、羟基、烷基、烷氧基和环烷基的原子或基团。
3.根据权利要求2的半导体器件,其中所述双酚化合物与三酚化合物的比例优选为10∶90至90∶10。
4.根据权利要求1的半导体器件,其中所述聚酰胺的X选自如下基团:
5.根据权利要求1或2的半导体器件,其中所述聚酰胺的Y选自如下基团:
其中A为-CH2-、-C(CH3)2-、-O-、-S-、-SO2-、-CO-、-NHCO-或-C(CF3)2-。
6.根据权利要求1的半导体器件,其中该正光敏树脂组合物在280至440℃的温度下固化。
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