[发明专利]流体喷布式固定研磨剂抛光垫无效
| 申请号： | 00803144.4 | 申请日： | 2000-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN1165408C | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | L·张;A·布拉克;L·维尼斯 | 申请（专利权）人： | 皇家菲利浦电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304;B24D13/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;梁永 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 流体 喷布式 固定 研磨剂 抛光 | ||
【权利要求书】：
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