[实用新型]变温的高阻半导体材料光电测试装置

权利要求书

1、一种变温的高阻半导体材料光电测试装置，其特征在于，其中包括：

一真空腔，该真空腔为圆柱体，该真空腔内为真空室；

一真空室上罩，该真空室上罩罩扣于真空腔的上面；

一真空室底盘，该真空室底盘用螺丝固定在真空腔的下面，该真空室底盘的中间有一通孔；

一冷井，该冷井为圆桶体，其上下端均封闭，在其下端开有两通孔；

一样品座，该样品座固定在冷井的上端。

2、根据权利要求1所述的一种变温的高阻半导体材料光电测试装置，其特征在于，其中该真空腔的侧壁上开有供接线端引出的小孔，在该小孔的外面有封闭盖；在真空腔的内壁的上下端形成有环状凸台。

3、根据权利要求1所述的一种变温的高阻半导体材料光电测试装置，其特征在于，其中该冷井的外周壁面固定有金属膜加热器，该冷井下端两通孔分别为液氮的入口和出口，并与液氮管路相连接。

4、根据权利要求1所述的一种变温的高阻半导体材料光电测试装置，其特征在于，其中该样品座的断面概似一工字形，其上有一传感器，下面有一磁铁。

5、根据权利要求2所述的一种变温的高阻半导体材料光电测试装置，其特征在于，其中在真空腔内壁的凸台上固定有两个接线柱，该接线柱为绝缘材料制成，该接线柱上固定有探针。

6、根据权利要求2所述的一种变温的高阻半导体材料光电测试装置，其特征在于，其中该接线端包括：第一接线端、第二接线端、第三接线端，其第一接线端与探针连接，第二接线端与样品座连接，第三接线端与金属膜加热器连接。

7、根据权利要求1所述的一种变温的高阻半导体材料光电测试装置，其特征在于，其中该真空室上罩的中间开有一观察孔，该观察孔上有一透明盖。

8、根据权利要求1所述的一种变温的高阻半导体材料光电测试装置，其特征在于，其中在真空腔与真空底盘、真空腔与真空室上盖之间有一真空密封圈。

9、根据权利要求7所述的一种变温的高阻半导体材料光电测试装置，其特征在于，其中在观察孔和透明盖之间有一真空密封圈。