[实用新型]一种新型平面薄膜冷阴极器件无效
| 申请号: | 00253239.5 | 申请日: | 2000-11-28 |
| 公开(公告)号: | CN2454895Y | 公开(公告)日: | 2001-10-17 |
| 发明(设计)人: | 王惟彪 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号: | H01J1/30 | 分类号: | H01J1/30 |
| 代理公司: | 中国科学院长春专利事务所 | 代理人: | 梁爱荣 |
| 地址: | 130022 *** | 国省代码: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 新型 平面 薄膜 阴极 器件 | ||
【权利要求书】:
1、一种新型平面薄膜冷阴极器件,它包括:控制栅极1、绝缘层2、发射层3、接触背电极5,其特征在于:还包括在发射层3的下面采用可控制衬底结构,可控制衬底包括:在发射层3的下面依次采用金属上电极4、接触背电极5、基底6、绝缘层7的结构。
2、根据权利要求1所述的器件,其特征在于:可控制衬底还包括:在发射层的下面依次采用金属上电极4、PN结型半导体层8、接触背电极5的结构。
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