[实用新型]投影光刻成像滤波装置无效
| 申请号： | 00244921.8 | 申请日： | 2000-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN2449257Y | 公开（公告）日： | 2001-09-19 |
| 发明（设计）人： | 康西巧;陈旭南;罗先刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/22 | 分类号： | G03F7/22;G02B27/46 |
| 代理公司： | 中国科学院成都专利事务所 | 代理人： | 张一红 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 投影 光刻 成像 滤波 装置 | ||
【权利要求书】：
1、由椭球镜(1)、照明光源(2)、聚光镜组(4)、掩模板(5)、投影成像物镜及硅片(9)构成的投影光刻成像滤波装置，其特征在于：在成像物镜前组(6)的后焦面和后组(8)的前焦面位置，即成像物镜的光瞳面位置，放置对成像光进行滤波的滤波板(7)。
2、如权利要求1所述的投影光刻成像滤波装置，其特征在于位于光瞳面上的滤波板(7)的透明基板(10)上，其中心制作有透过率T为0-0.9不完全透光的园形灰-黑色膜层(11)。
3、如权利要求1和2所述的投影光刻成像滤波装置，其特征还在于滤波板(7)透明基板(10)上的不完全透光园形灰-黑色膜层(11)，其园半径r=(0.1-0.8)R,R为滤波板(7)的全半径。
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