[实用新型]微机械力学性能测试仪无效
| 申请号： | 00226180.4 | 申请日： | 2000-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN2412212Y | 公开（公告）日： | 2000-12-27 |
| 发明（设计）人： | 蒋庄德;王海容;赵则祥;王朝晖;陈伟;伊燕玲;赵玉龙 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L3/10 | 分类号： | G01L3/10 |
| 代理公司： | 西安交通大学专利事务所 | 代理人： | 贾玉健 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 力学性能 测试仪 | ||
【权利要求书】：
1、微机械力学性能测试仪，包括一底座(7)，在底座(7)上连接有倒U形支架(6)和Z向驱动装置(5)，其特征在于，所说的Z向驱动装置(5)上固定一X/Y工作台(4)，工作台(4)内配置一力传感器(3)，X/Y工作台(4)上部装有真空装夹机构(10)，倒U形支架(6)内上部装有进给装置(11)，在进给装置(11)的输出端连接压头卡具(1)，压头卡具(1)上固定有装点压头(12)，在压头(12)靠近压入位置固定一平板(13)，电容测微仪(8)的两极板，一端固定在平板(13)上，另一端固定在进给装置(11)的静止部分。
2、根据权利要求1所述的微机械力学性能测试仪，其特征在于，所说的真空装夹机构(10)包括上端盖(16)，上端盖(16)上开有与腔体(18)相通的阻尼孔(15)，上端盖(16)、下端盖(18)与腔体(17)均通过螺纹连接。
3、根据权利要求1所述的微机械力学性能测试仪，其特征在于，所说的倒U形支架(6)的一内侧固定一CCD摄像机(9)，CCD摄像机(9)配置有较大景深的显微镜头，进给装置(11)的静止部分、压头卡具(1)的侧面紧固一激光器(2)。
4、根据权利要求1所述的微机械力学性能测试仪，其特征在于，所说的进给装置(11)由压电陶瓷一柔性铰链加载机构组成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/00226180.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
