[实用新型]亚半微米投影光刻物镜

权利要求书

1、一种亚半微米投影光刻物镜，包括镜筒和内部透镜框组件，其特征在于：外层为通有恒温水的恒温密封上下外套(38)和(40)，中间层为由镜筒(4)、镜筒(13)、镜筒(17)、镜筒(27)和镜筒(30)组成的镜筒，支撑整个物镜的大法兰(39)包含在其中的一节镜筒(17)中，内层为分隔固定光学透镜元件的透镜框组件(1)、(2)、(3)、(5)、(6)、(7)、(8)、(9)、(10)、(11)、(12)、(14)、(15)、(16)、(18)、(19)、(20)、(21)、(22)、(25)、(26)、(28)、(29)、(31)、(32)、(33)、(34)、(35)、(36)、平镜组件(24)和光栏组件(23)。

2、根据权利要求1所述的亚半微米投影光刻物镜，其特征在于该光学系统为像方远心和物方远心的双远心系统，光栏面为前组的像方焦面，也为后组的物方焦面，同时也是光瞳面，在该面上放置了其数值孔径可在0.35-0.63改变的可变光栏(23)，同时还放置了光栅衍射空间滤波对准装置，使同时具有同轴对准功能。