[发明专利]光刻胶组合物,其制备方法和用其形成图纹的方法

权利要求书

1．一种光刻胶组合物，该组合物包括：(ⅰ)由约30-70％重量比的用分子式(1)表示的第一种感光化合物和约70-30％重量比的用分子式(2a)或(2b)表示的第二种感光化合物混合得到的感光物质；(ⅱ)树脂；和(ⅲ)溶剂；

在分子式(1)中，R₁和R₂分别选自氢原子，1，2-萘醌叠氮-4-亚砜基，1，2-萘醌叠氮-5-亚砜基，1，2-萘醌叠氮-6-亚砜基，和它们的混合物，其中R₁和R₂不能同时是氢原子，n₁和n₂代表0，1，2或3并且不能同时是0，和

在分子式(2a)和(2b)中，R₃，R₄和R₅分别选自氢原子，1，2-萘醌叠氮-4-亚砜基，1，2-萘醌叠氮-5-亚砜基，1，2-萘醌叠氮-6-亚砜基，和它们的混合物，其中R₃，R₄和R₅不能同时是氢原子，X_1a，X_1b，X_1c，X_1d，X_2a，X_2b和X_2c分别选自氢原子或烷基，并且n₃代表1或2。

2．如权利要求1所述的光刻胶组合物，其中所述第一种感光化合物选自2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮的1，2-萘醌叠氮-4-磺酸酯，2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮的1，2-萘醌叠氮-5-磺酸酯，2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮的1，2-萘醌叠氮-6-磺酸酯和它们的混合物中的至少一种化合物。

3．如权利要求1所述的光刻胶组合物，其中所述第二种感光化合物选自具有3或4个单羟基烷基苯环的非二苯甲酮的1，2-萘醌叠氮-4-磺酸酯，具有3或4个单羟基烷基苯环的非二苯甲酮的1，2-萘醌叠氮-5-磺酸酯，具有3或4个单羟基烷基苯环的非二苯甲酮的1，2-萘醌叠氮-6-磺酸酯和它们的混合物中的至少一种化合物。

4．如权利要求1中所述的光刻胶组合物，其中所述树脂是酚醛树脂。

5．如权利要求4中所述的光刻胶组合物，其中所述酚醛树脂是在酸催化剂存在的情况下通过酚类化合物和醛类化合物缩合而成，由此得到的酚醛树脂其聚苯乙烯转换平均分子量在约1，000-20，000之间。

6．如权利要求5中所述的光刻胶组合物，其中所述酚醛树脂是在乙二酸催化剂存在的情况下通过选自间-甲酚，对-甲酚，2，3，5-三甲基苯酚，以及它们的混合物的酚类化合物和醛类化合物缩合而成，由此得到的酚醛树脂其聚苯乙烯转换平均分子量在约5，000-7，000之间。

7．如权利要求1中所述的光刻胶组合物，其中所述溶剂选自乳酸乙酯，醋酸丁酯，以及乳酸乙酯与醋酸丁酯按约80∶20-约30∶70重量比的混合比率得到的混合物。

8．如权利要求1中所述的光刻胶组合物，其中光刻胶组合物固体含量占该光刻胶组合物总量的约20-40％重量比的范围之间。

9．如权利要求1中所述的光刻胶组合物，其中所述第一种和第二种感光化合物的量相对于100重量份数的树脂约为10-100重量份数。

10．如权利要求1中所述的光刻胶组合物，其中所述第一种感光化合物其酯化比率在约40-100％之间，所述第二种感光化合物其酯化比率在约20-90％之间。

11．如权利要求1中所述的光刻胶组合物，其中所述光刻胶组合物粘度在约28-32cP之间。