[发明专利]阀

权利要求书

1.一种用于超高纯气体的阀包括一确定阀室的阀体，阀室有一个供气体排出的阀出口，和包含一个可以往复移动的密封部件，其特征在于，阀室与气体源流体连通，密封部件沿大体上平行于从阀出口排出的气流方向的轴线往复移动，进入和脱离与位于阀室内的密封面的密封接触和限定阀出口管的入口端，相对地，阀出口管的出口端形成阀的出口，一个衬里部件可拆卸地安装在阀体内，和与可往复的密封部件一起确定阀室的一部分，阀出口管可拆卸地连接其上。

2.按照权利要求1所述的阀，其特征在于，阀出口管的出口端被一密封面限定，以便密封用于传送从阀排出的气体到后续应用的装置。

3.按照权利要求1或2所述的阀，其特征在于，阀出口管是一整体和可分离地取下。

4.按照权利要求1，2或3所述的阀，其特征在于，阀出口管是一般的圆筒形。

5.按照前述任何一项权利要求所述的阀，其特征在于，阀室是大体成环形地设置在阀出口管的入口端周围。

6.按照前面任何一项权利要求所述的阀，其特征在于，包括一个柔性的膜，密封部件连接到膜上，该膜的构形适于在阀出口的相反侧密封阀室。

7.按照前面任何一项权利要求所述的阀，其特征在于，当连接到包含气体的气筒时，包括一个插管从阀室延伸到气筒内部，适于允许气体从气筒内距筒壁较远的点处自由流出，通过插管而后进入阀室。