[发明专利]硅材料机械强度的测试方法无效
| 申请号： | 00107135.1 | 申请日： | 2000-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN1099027C | 公开（公告）日： | 2003-01-15 |
| 发明（设计）人： | 杨德仁;李东升;李立本;阙端麟 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N3/42 | 分类号： | G01N3/42 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 材料 机械 强度 测试 方法 | ||
【权利要求书】：
1.硅材料机械强度的测试方法，其特征是以测量位错滑移长度确定机械强度，该方法依次包括如下步骤：
1)将从硅材料上割取的试样硅片进行抛光，除去表面损伤层；
2)用硬度计压头在硅片表面制造压痕，压痕四周引入位错；
3)在保护气中对硅片进行热处理，使位错发生滑移；
4)冷却硅片，用化学腐蚀液腐蚀，显示位错滑移；
5)测量位错滑移长度。
2.按权利要求1所述的硅材料机械强度的测试方法，其特征是所说的化学腐蚀液是氢氟酸和浓度为50％的铬酸按1∶1比例配制成的sirtl液。
3.按权利要求1所述的硅材料机械强度的测试方法，其特征是所说的保护气是氮气或氩气。
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