[发明专利]喷墨印头及其制造方法

说明书

本发明涉及喷墨印头及其制造方法。

利用压电元件的压电效果进行记录的喷墨式记录装置一直被应用在打印机、打字机以及传真机等上。如图14和图15所示，将多层薄膜层叠起来而构成的喷墨印头，便是被应用到这类记录装置中的喷墨印头的一个例子。

在上述喷墨印头里，在印头主体部108的内部形成有多个沿图中的L2方向排列着的压力室101，和在L2方向上呈细长状的共用墨汁室102。所形成的每一个压力室101的水平断面形状在L1方向上为细长的长方形。每一个压力室101通过每一条墨汁供给路105而和共用墨汁室102相通。在喷墨印头的表侧(图14的下侧)形成有喷嘴103。该喷嘴103和压力室101通过墨汁喷出路104相通。压力室101的背侧(图14的上侧)被振动板112划分开。振动板112由铬(Cr)形成，它还能起向压电元件106施加电压的共用电极的作用。压电元件106接合在振动板112的背面。在压电元件106的背面设有专用电极111。向压力室101内的墨汁施加压力的执行元件部107是由专用电极111、压电元件106以及振动板112构成的。主体部108和振动板112是通过粘接剂120而相互接合在一起的。

近年来，印头结构正在随着记录装置的高解像度化等而向细微化发展。与此相伴，如图15所示，相邻压电元件106间的间隔变短，划分压力室101的划分壁109也变得越来越薄。于是，如图15的假想线(双点划线)所示，在将主体部108和振动板112粘接在一起的时候，有时粘接剂120会从接合面上溢出来，其中的一部分114会粘到振动板112的变位部113上。在这样的情况下，振动板112的变位部113的变位量会减小且变位进行得不顺利，以致墨汁的喷出性能下降。还有，振动板112的变位部113相对于不同的压力室的变位量也有可能不一样。结果是会导致打印出来的文字的质量下降。

本发明是以上述课题为出发点而开发出来的。对印头主体部和振动板做一个使粘接剂不会妨碍振动板的变位动作的粘接，以解决上述问题。此乃本发明之目的所在。

为达成上述目的，本发明所涉及的喷墨印头的具体情况如下：备有其上形成有压力室用凹部及喷嘴的印头主体部，和为能与该印头主体部共同划分并形成压力室，其中有覆盖该印头主体部的压力室用凹部的振动板及被固定在该振动板上的压电体的执行元件部，是一种能通过该压电体的压电效果使该振动板变位，以从上述喷嘴将上述压力室内的墨汁喷出的喷墨印头，在上述振动板和上述印头主体部之间，设置有用来防止粘接剂沾到该振动板的变位部的中间层，上述振动板和上述印头主体部，其间夹着上述中间层，通过粘接剂固定在一起。

这样，即使在将印头主体部和振动板接合到一起时粘接剂溢出来了，因在粘接剂和振动板之间设置了中间层，所以所溢出的粘接剂只会沾到该中间层上。因此，能防止溢出来的粘接剂沾到振动板的变位部，振动板也就能很好地进行变位动作了。结果是：参差不齐的变位被防止了，喷墨性能稳定了。

本发明所涉及的又一喷墨印头的具体情况如下：备有其上形成有压力室用凹部及喷嘴的印头主体部，和为能与该印头主体部共同划分并形成压力室，其中有覆盖该印头主体部的压力室用凹部的振动板及被固定在该振动板上的压电体的执行元件部；是一能通过该压电体的压电效果使该振动板变位，以从上述喷嘴将上述压力室内的墨汁喷出的喷墨印头；在上述振动板靠近印头主体部的那一个面上，设置有其上形成有把该振动板的变位部暴露给上述压力室的窗部且由金属、陶瓷或者树脂形成的中间层；上述振动板和上述印头主体部，其间夹着上述中间层，通过粘接剂固定在一起。

这样，很容易地就能利用溅镀、CVD等薄膜形成技术，形成防止粘接剂沾到振动板的变位部的中间层。

因用铜的话，很容易形成较厚的膜，所以最好是用铜来形成中间层。这样做，很容易地就能形成确保粘接剂不沾到振动板的、膜厚也厚的中间层。还有，因铜具有易蚀刻等优良的加工性，所以窗部的形成也就容易了。

另一方面，也可以用钛形成中间层。这样做，因钛即使被暴露给墨汁也很难发生劣化，因此中间层的寿命会变长。还有，因钛和铬间的粘着性很高，所以在用铬来形成振动板的场合下，和振动板间的粘着性提高。结果是：不用形成提高中间层和振动板间的粘着性的粘着性改善层了，制造工序被缩短了。

若中间层太薄，粘接剂就容易沾到振动板的变位部。因此最好是形成厚度为5μm以上的中间层。这样做，就能有效地防止粘接剂沾到振动板的变位部。

形成厚度大于7μm的中间层就更理想了。这样做的话，能确保粘接剂不沾到振动板的变位部。