[发明专利]墨水喷射头及其制造方法

权利要求书

1.一种墨水喷射头，在喷嘴部件的表面形成含有在硅氧化物中结合或分散氟烷基链的分子的防水性薄膜。

2.根据权利要求1所述的墨水喷射头，所述的防水性薄膜被形成厚度为10nm-1000nm。

3.根据权利要求1或2所述的墨水喷射头，形成所述防水性薄膜，使表面侧的比与喷嘴部件的表面侧的具有氟烷基链的分子密度大。

4.一种墨水喷射头的制造方法，是在喷嘴部件的表面形成防水性薄膜，包括将溶解了作为硅氧化物的前身的甲氧基硅烷或乙氧基硅烷化合物与含氟化碳链的乙氧基硅烷或甲基硅烷化合物的涂层液涂布在喷嘴部件的表面的工序和其后干燥上述喷嘴部件的工序。

5.一种墨水喷射头的制造方法，是在喷嘴部件的表面上形成防水性薄膜，包括将溶解了作为硅氧化物的前身的甲氧基硅烷或乙氧基硅烷化合物的第一涂层液涂布在喷嘴部件的表面的工序、将溶解了作为硅氧化物的前身的甲氧基硅烷或乙氧基硅烷化合物与含氟化碳链的乙氧基硅烷或甲氧基硅烷化合物的第二涂层淮涂布在涂布了上述第一涂层液的上述喷嘴部件表面的工序和其后干燥上述喷嘴部件的工序。

6.一种墨水喷射头的制造方法，是在喷嘴部件的表面形成防水薄膜，包括将溶解了作为硅氧化物的前身的甲氧基硅烷或乙氧基硅烷化合物与含氟化碳链的乙氧基硅烷或甲氧基硅烷化合物的涂层涂布在喷嘴部件的表面上的工序，其后干燥上述喷嘴部件的工序和然后在上述喷嘴部件上形成喷嘴孔的工序。

7.一和墨水喷射头的制造方法，是在喷嘴部件的表面形成防水性薄膜，包括将溶解了作为硅氧化物的前身的甲氧基硅烷或乙氧基硅烷化合物的第一涂层液涂布在喷嘴部件的表面的工序、将溶解了作为硅氧化物的前身的甲氧基硅烷或乙氧基硅烷化合物与含氟化碳链的乙氧基硅烷或甲氧基硅烷化合物的第二涂层涂布在涂布了上述第一涂层液的上述喷嘴部件表面的工序、其后干燥上述喷嘴部件的工序、和然后在上述喷嘴部件上形成喷嘴孔的工序。

8.根据权利要求6或7所述的墨水喷射头的制造方法，在所述喷嘴部件上形成喷嘴孔的工序是通过放电加工形成喷嘴孔的工序。