[发明专利]光学装置、光学装置的调整方法及存储了程序的存储媒体

权利要求书

1．一种光学装置，具备包含多个光学元件的光学单元和调整装置，其特征在于：所述调整装置依次输出变更上述光学元件内特定的多个光学元件的参数的控制信号，其按照概率搜索算法变更上述特定的多个光学元件的参数，使该参数成为使上述光学装置的功能满足规定的规格的参数。

2．权利要求1所记载的光学装置，其特征在于：该调整装置通过按照遗传算法依次变更、搜索控制信号的值，变更特定的多个光学元件的参数，使其成为光学装置的功能达到满足所规定的规格的状态的最佳值。

3．权利要求1所记载的光学装置，其特征在于：该调整装置通过按照模拟退火算法依次变更、搜索控制信号的值，变更特定的多个光学元件的参数，使其成为光学装置的功能达到满足所规定的规格的状态的最佳值。

4．权利要求1至3所记载的光学装置，其特征在于：作为该调整装置评价光学装置的功能状态的函数，使用加权累计多个评价结果的评价函数。

5．权利要求1至4所记载的光学装置，其特征在于：测量基于控制信号调整光学元件的参数过程中的参数值，将其与此时输出光的观测值成组保存到存储器，并把该组中评价值最大的组的元件参数值作为局部的最佳值。

6．权利要求1至5所记载的光学装置，其特征在于：所述包含光学元件的光学单元是激光器。

7．权利要求1至5所记载的光学装置，其特征在于：所述光学元件含有可变形反射镜。

8．权利要求7所记载的光学装置，其特征在于：所述包含光学元件的光学单元是波面控制器。

9．权利要求7所记载的光学装置，其特征在于：所述包含光学元件的光学单元是望远镜。

10．权利要求1所记载的光学装置，其特征在于：所述调整装置包括一个电子计算机和该电子计算机能够读取的存储媒体。

11．权利要求1所记载的光学装置，其特征在于：所述特定的多个光学元件中的一个光学元件的多个参数是可调整的。

12．一种控制多个光学元件的光学装置的调整方法，其特征在于：按照概率搜索算法依次输出控制信号，变更上述多个光学元件内的特定的多个光学元件的参数，搜索光学装置的功能满足所规定的规格的最佳值。

13．权利要求12所记载的光学装置的调整方法，其特征在于：该输出的控制信号的值，按照遗传算法依次变更控制信号的值并搜索出最佳值。

14．权利要求12所记载的光学装置的调整方法，其特征在于：该输出的控制信号的值，按照模拟退火算法依次变更控制信号的值并搜索出最佳值。

15．权利要求14所记载的光学装置的调整方法，其特征在于：作为评价该光学装置的功能状态的函数，使用加权累计多个评价结果的评价函数。

16．权利要求12至15所记载的光学装置的调整方法，其特征在于：测量基于该控制信号调整光学元件的参数过程中的参数值，将其与此时输出光的观测值成组保存到存储器，并把该组中评价值最大的组的元件参数值作为局部的最佳值。

17．权利要求12至16所记载的光学装置的调整方法，其特征在于：调整在激光器中使用的光学单元的光学元件的参数。

18．权利要求12至16所记载的光学装置的调整方法，其特征在于：作为该光学元件，调整包含可变形反射镜的光学元件的参数。

19．权利要求18所记载的光学装置的调整方法，其特征在于：调整在波面控制器中使用的光学单元的光学元件的参数。

20．权利要求18所记载的光学装置的调整方法，其特征在于：调整在望远镜中使用的光学单元的光学元件的参数。

21．一种调整装置，其特征在于：利用具备电子计算机和可在该电子计算机上读取的存储媒体的调整装置，进行权利要求12至20所记载的方法的调整。

22．一种存储媒体，其特征在于：保存有进行权利要求12至20所记载的调整的调整程序。

23．权利要求12所记载的光学装置的调整方法，其特征在于：所述特定的多个光学元件中的一个光学元件的多个参数是可调整的。