[发明专利]半导体器件的制造方法无效
| 申请号： | 00104151.7 | 申请日： | 1994-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN1149682C | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 宫永昭治;大谷久;寺本聪 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/336;H01L21/324 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张志醒 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体器件 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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