[发明专利]滑动器坯料的制造方法、滑动器的制造方法和滑动器坯料

说明书

本发明涉及用来制造例如薄膜磁头用的滑动器(slider)的滑动器的制造方法、滑动器坯料的制造方法和滑动器坯料。

磁盘装置等使用的悬浮式薄膜磁头一般由在其后端部形成了薄膜磁头元件的薄膜磁头滑动器(以下简称为滑动器)构成。滑动器一般具有表面成为媒体相对面(空气支承面)的导轨部，同时，在空气流入侧的端部附近还具有锥部或台阶部，利用从锥部或台阶部流入的空气流，使导轨部从磁盘等记录媒体的表面稍微上浮。

此外，作为薄膜磁头元件，普遍使用复合型薄膜磁头元件，其结构是将写入用的感应式磁换能元件和读出用的磁阻(以下记作MR(Magnetoresistive))元件层叠起来的构造。

薄膜磁头滑动器的制造方法一般是在一个方向上将排列成好几列的分别包含有薄膜磁头元件的滑动器部分(以下称为滑动器部分)的薄片切断，形成滑动器部分排成一列的称为条的毛坯，在对该条形成导轨部之后，再切断该条，从而分离出各个滑动器。

这样的滑动器制造工序包括对条中的成为媒体相对面的平面(为方便起见，以下称为媒体相对面)进行磨削(grinding)和研磨(rubbing)等加工的媒体相对面加工工序和将薄片切成条的条切断工序。再有，条的媒体相对面加工工序和条切断工序的顺序如后面说明的那样因条的媒体相对面的加工方法和将薄片切成条的方法而不同。

媒体相对面加工工序有必要使包含在条中的薄膜磁头元件中的MR的高度和咽喉状部分的高度都在容许范围之内，同时，有必要使被加工面的加工精度在规定的容许范围之内。再有，所谓MR的高度是指从MR元件的媒体相对面一侧的端部到相反侧的端部的长度(高度)。此外，咽喉状部分的高度是指从感应式磁换能元件的磁极部分的媒体相对面一侧的端部到相反侧的端部的长度(高度)。

但是，在过去，条的媒体相对面的加工和将薄片切成条的加工多半是用下述方法进行的。该方法是将薄片切成包含一列滑动器部分的条，通过将该条的与媒体相对面相反的面与规定的夹具粘接在一起，使条固定在夹具上，再对固定在该夹具上的条的媒体相对面进行加工。以下，将该方法称为第1方法。第1方法已公开在例如日本特开平10-228617号、日本特开平8-315341号和日本特开平9-274714号公报中。

此外，在过去，作为条的媒体相对面的加工和将薄片切成条的加工的方法，除了上述第1方法之外，还提出了下面所述的第2至第6方法。

第2方法例如如美国专利第5，406，694号公报的图7所示那样，从薄片中切出包含好几列滑动器部分的规定长度的毛坯，通过将该毛坯的与媒体相对面相反一侧的面与规定的夹具粘接在一起使毛坯固定在夹具上，再对固定在该夹具上的毛坯的媒体相对面进行加工，然后，从毛坯切出媒体相对面已加工好的条。

第3方法例如如日本特开平4-289511号公报的图3所示那样，将薄片固定在规定的夹具上，在对装在该夹具上的薄片中的媒体相对面进行加工之后，从已完成媒体相对面的加工的薄片切出条。

第4方法例如如日本特开平4-289511号公报的图7所示那样，对薄片或包含从薄片切出的几列滑动器部分的规定长度的毛坯中的与媒体相对面相反一侧的基准面进行加工，然后，通过将该基准面与规定的夹具粘接在一起，使薄片或毛坯固定在规定在夹具上，然后，在该状态下，通过在媒体相对面的位置上切断薄片或毛坯将它们切成条，对该条的媒体相对面进行加工。

第5方法例如如日本特开平4-289511号公报的图8和图9所示那样，薄片上形成了滑动器部分，在相邻的列间，使媒体相对面之间或与它们相反一侧的面之间相互对峙，通过在媒体相对面之间的相互对峙的位置上切断上述薄片，从薄片切出包含2列滑动器部分的毛坯，通过粘接将该毛坯的两端面分别固定在规定的夹具上，然后，在媒体相对面之间的相互对峙的位置上切断上述毛坯，分离成各自固定在夹具上的2个条，对各条的媒体相对面进行加工。

第6方法例如如日本特开平4-289511号公报的图10和图11所示那样，薄片上形成了滑动器部分，在相邻的列间，使媒体相对面之间或与它们相反一侧的面之间相互对峙，通过在媒体相对面之间的相互对峙的位置上切断上述薄片，从薄片切出包含2列滑动器部分的毛坯，通过粘接将规定的夹具固定在该毛坯的一边的媒体相对面上，对另一边的媒体相对面进行加工，然后，通过粘接将规定的夹具固定在已加工完的另一边的媒体相对面上，将夹具从这一边的媒体相对面上取下来，对这一边的媒体相对面进行加工，通过在与媒体相对面相反一侧的面之间相互对峙的位置上切断毛坯，分离成2个条。