[发明专利]化学增强型正光刻胶组合物

权利要求书

1.一种化学增强型正光刻胶组合物，其特征在于包括：

(1)一种含有下式(I)代表的脂肪族锍盐的酸发生剂：

其中Q¹代表烷基，和Q²代表烷基或脂环族烃的残基，m代表1到8的整数；至少一种鎓盐选自下式(IIa)表示的三苯基锍盐和下式(IIb)表示的二苯基碘鎓盐：

其中Q³、Q⁴、Q⁵、Q⁶和Q⁷独立地代表氢、羟基、含1-6个碳原子的烷基，含1-6个碳原子的烷氧基，q和p代表4-8的整数；以及

(2)一种聚合单元有对酸不稳定的基团的树脂，自身不溶或几乎不溶于碱，但在酸的作用下能变成溶于碱。

2.根据权利要求1所述的化学增强型正光刻胶组合物，其特征在于式(I)中的m是4-8的整数。

3.根据权利要求1所述的化学增强型正光刻胶组合物，其特征在于式(I)代表的脂肪族锍盐和选自式(IIa)表示的三苯基锍盐和下式(IIb)表示的二苯基碘鎓盐的鎓盐约9∶1到1∶9。

4.一种化学增强型正光刻胶组合物，其特征在于包括：

(1)一种含有下式(Ia)代表的脂肪族锍盐的酸发生剂：

其中Q¹代表烷基，和Q²代表烷基或脂肪族烃的残基，n代表1到8的整数；及

(2)一种聚合单元有对酸不稳定的基团的树脂，自身不溶或几乎不溶于碱，但在酸的作用下能变成溶于碱。

5.根据权利要求1或4任何一项所述的化学增强型正光刻胶组合物，其特征在于有对酸不稳定的基团的聚合单元的比率与树脂的所有聚合单元的比率是10到80摩尔％。

6.根据权利要求1或4任何一项所述的化学增强型正光刻胶组合物，其特征在于有对酸不稳定的基团的聚合单元是从2-烷基-2-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯引入的。

7.根据权利要求6所述的化学增强型正光刻胶组合物，其特征在于2-烷基-2-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯是选自2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯或2-乙基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯。

8.根据权利要求1或4所述的化学增强型正光刻胶组合物，其特征在于(2)树脂还有至少一种聚合单元是选自从3-羟基-1-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯引入的聚合单元和从-(甲基)丙烯酰基氧-γ-丁内酯引入的聚合单元，其中内酯环可选被烷基取代。

9.根据权利要求1或4所述的化学增强型正光刻胶组合物，其特征在于(2)树脂是一种共聚物，该共聚物具有一种对酸不稳定的聚合单位和一种选自从3-羟基-1-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯引入的聚合单元和从(甲基)丙烯酰基氧-γ-丁内酯引入的聚合单元的聚合单元，其中内酯环可选被烷基取代。

10.根据权利要求1或4所述的化学增强型正光刻胶组合物，其特征在于(2)树脂是一种三聚物，该共聚物具有一种对酸不稳定的聚合单位，一种从3-羟基-1-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯引入的聚合单元和一种从(甲基)丙烯酰基氧-γ-丁内酯引入的聚合单元，其中内酯环可选被烷基取代。

11.根据权利要求8所述的化学正增强型正光刻胶组合物，其特征在于其中内酯环可选被烷基取代的(甲基)丙烯酰基氧-γ-丁内酯是选自其中内酯环可选被烷基取代的α-(甲基)丙烯酰基氧-γ-丁内酯的内酯环和其中内酯环可选被烷基取代的β-(甲基)丙烯酰基氧-γ-丁内酯的内酯环。

12.根据权利要求8所述的化学正增强型正光刻胶组合物，其特征在于(2)树脂还有一种从2-降冰片烯引入的聚合单元和一种从脂肪族不饱和二羧酐引入的聚合单元。

13.根据权利要求1的化学正增强型光刻胶组合物，其特征在于还含有胺化合物作为猝灭剂。

14.根据权利要求13所述的化学增强型光刻胶组合物，其特征在于胺化合物包括下式(X)表示的2，6-二烷基吡啶化合物

其中R²¹和R²²单独表示1到4个碳原子的烷基。