[发明专利]覆晶件晶片的结合方法无效
申请号: | 00103473.1 | 申请日: | 2000-03-13 |
公开(公告)号: | CN1313631A | 公开(公告)日: | 2001-09-19 |
发明(设计)人: | 谢文乐;庄永成;黄宁;陈慧萍;蒋华文;张衷铭;涂丰昌;黄富裕;张轩睿;胡嘉杰 | 申请(专利权)人: | 华泰电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘领弟 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 覆晶件 晶片 结合 方法 | ||
1、一种覆晶件晶片的结合方法,它包括如下步骤:
第一步骤
在从晶圆厂生产制造完成的晶圆上预先设置金属导体凸块,并切割成适当大小形成晶片;
第二步骤
在基板上涂布封胶材料;
第三步骤
将晶片翻转,使其上金属导体凸块面朝下;
第四步骤
以晶片上的金属导体凸块与基板接触,进行加热结合;
其特征在于所述的
第一步骤中还包括在基板上与晶片结合的预留位置上,形成与晶片上金属导体凸块相对应的金属焊料凸块;
第三步骤中使晶片上的金属导体凸块对正基板上形成的金属焊料凸块;
第四步骤中晶片上的金属导体凸块与基板上金属焊料凸块接触,并施以压合加热,使晶片上金属导体凸块藉由基板上加热融熔后再硬化焊固的金属焊料凸块牢固地焊接结合于基板上。
2、根据权利要求1所述的覆晶件晶片的结合方法,其特征在于所述的基板上的金属焊料凸块以印刷方式形成。
3、根据权利要求1所述的覆晶件晶片的结合方法,其特征在于所述的基板上的金属焊料凸块以电镀方式形成。
4、根据权利要求2或3所述的覆晶件晶片的结合方法,其特征在于所述的基板上的金属焊料凸块具备较高温融焊特性。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华泰电子股份有限公司,未经华泰电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/00103473.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:玻璃表层的着色方法
- 下一篇:开关监控方法和电路及装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造