[发明专利]表面声波装置及其制造方法

说明书

本发明涉及一种表面声波装置及其制造方法，该装置用作表面声波谐振器或表面声波滤波器。本发明尤其涉及一种具有连接电极的表面声波装置及其制造方法，该电极通过金属线接合法连接了一根连接线。

在表面声波装置的制造中，一种结构经常被用来封焊组件中的表面声波元件。(例如，参考第50-68058号、第51-17666号、第61-172362号日本未审查专利，)

为了将表面声波元件安装到组件中，下面的方法被用于表面声波装置的装配。首先，准备表面声波元件，在该元件中的表面声波基片上提供至少一个叉指式换能器(在下文中，被称为IDT)和一个电气地连接到外界的连接电极。将这个表面声波元件用粘合剂固定在一个组件成员的元件固定表面上。然后，利用超声波振荡，通过金属线接合法，终端电极被连接到表面声波元件的连接电极，该终端电极将被电气地连接到组件成员外部。那就是说，在施加超声波的同时，连接线被连接到连接电极上，并且通过相似地施加超声波振荡的金属线接合法，连接线的另一端被连接到组件成员提供的终端电极上。

当用上述连接线连接完毕以后，安排来焊封表面声波元件的另一个组件成员被固定到这个组件成员以便完成该表面声波装置。

在构造表面声波装置来放置组件中的表面声波元件时，使用粘合剂把表面声波元件固定到组件成员的元件安装面。然而，在凝固过程中上述的粘合剂会收缩，并且由于凝固中的这种收缩，应力会被施加到表面声波元件中。如此会产生一个问题，由于凝固中的这种收缩，表面声波装置的特性会变化。

特别地，上述凝固收缩产生的应力也随着操作环境或大气的变化而变化，因此，在使用和操作过程中表面声波装置的特性会变化。

另一方面，当应变在表面声波元件所固定的组件中产生时，应变通过上述的粘合剂施加在表面声波元件中。当上述的应力被施加时，表面声波元件的特性会变化。那就是说，存在一个问题，即应力的变化导致了表面声波装置特性的变化，表面声波装置的成品率也随之降低。

为了克服上述的问题，本发明的较佳实施例提供了表面声波装置及其制造方法，它可以使施加在表面声波元件上的应力和组件中产生的应变影响最小，该应力是用于固定表面声波元件的粘合剂在凝固过程中由于收缩产生的，如此可以消除装置特性中的变化，并且可以获得极佳的连接可靠性。

根据本发明的一个较佳实施例，一个表面声波装置包括一个有元件安装面的组件，一个在组件中提供并含有至少一个连接电极的表面声波元件，一种粘合剂以便将表面声波元件固定到组件的元件安装表面，并且至少一个连接线连接到至少一个连接电极，其中至少一个连接电极有至少一个线型通孔延伸穿过一个区域，该区域中至少一个连接线被连接到至少一个连接电极。

根据这个较佳实施例的表面声波装置，将表面声波元件通过软粘合剂层固定在组件的元件安装面，粘合剂的凝固收缩造成的应力、加在组件上的应变和其他的力不再传递到表面声波元件。如此，元件特性上的变化降到了最低，表面声波元件的合格率大大提高。

在凝固状态，粘合剂较适宜有80HSD或更低的肖氏硬度，可以用改良的环氧树脂胶或硅树脂胶。

此外，因为线型通孔在上述连接电极中形成，通过开始连接时连接线在通孔的外围边缘部分的滑动，连接电极表面上的氧化物薄膜首先被去除，并且当使用超声导线连接法的时候，连接表面也沿着超声振动的方向延伸了。由此，连接线到连接电极的连接强度和连接可靠性大大增加了。

此外，通孔是线形的，在导电薄膜形成以后通孔可以通过刻蚀容易地形成。由此，通孔可以容易地形成而无须增加通孔的面积，并且防止了由于通孔的形成而造成的连接电极连接面积的减少。因为防止了对连接电极到连接线的连接性能有贡献的面积的减少，连接强度和连接可靠性也增加了。

线型通孔可能有一种形状，该形状结合了复杂线形部分。例如，线型通孔可能有一个锯齿形状或交叉形状。

当许多线形部分被组合到上述的线型通孔中的情况下，相对于直通孔的情况，在连接线滑动的方向上，氧化物薄膜首先被除去的边缘部分的数目增加了，因此，连接线到连接电极的连接可靠性进一步增强了。

根据本发明的另一个较佳实施例，制造表面声波装置的方法包括以下步骤：准备表面声波基片，刻蚀导电薄膜以便形成至少一个叉指式换能器和一个有线型通孔的连接电极，用粘合剂把表面声波元件固定到组件的元件安装面上；并且通过超声波金属线连接法把连接线连接到连接电极上。