[发明专利]生产工艺中将衬底移入和移出的系统及方法有效
| 申请号： | 00101879.5 | 申请日： | 2000-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN1139527C | 公开（公告）日： | 2004-02-25 |
| 发明（设计）人： | 许民宁;边圣埈;林定泽;朴炳劝 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 杨梧;朱勤 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 生产工艺 中将 衬底 移入 移出 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
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