[发明专利]一种在硅基片上生长单一取向的锆钛酸铅薄膜的方法无效
| 申请号: | 00100116.7 | 申请日: | 2000-01-11 | 
| 公开(公告)号: | CN1120897C | 公开(公告)日: | 2003-09-10 | 
| 发明(设计)人: | 赵柏儒;林媛;彭海兵;郝昭;许波 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 | 
| 主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/28 | 
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| 地址: | 1000*** | 国省代码: | 北京;11 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 硅基片上 生长 单一 取向 锆钛酸铅 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】:
                
            
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