[发明专利]一种应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法及装置

摘要

本发明提供一种应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法，所述薄膜太阳能电池包括基板，所述基板上依次层叠有前电极层、光电转换层以及背电极层，包括以下步骤：S10：形成一包括第一激光模块和第二激光模块的光源模块；S20：基板在同光源模块相对位移时，第一激光模块从基板下方划刻掉前电极层以外的所有膜层；S30：第二激光模块沿前述S20第一激光模块的划刻位置对前电极层进行划刻，本发明中通过绿光以及红外激光组合的方式，且必须绿光先划刻，红外激光跟随划刻的方式，保证划刻精度及稳定性，解决产能问题，以及漏电划线稳定性问题。