[发明专利]基于圆弧型悬臂微桥工艺的静电调谐滤波器及其制备方法在审
申请号: | 202310040396.1 | 申请日: | 2023-01-12 |
公开(公告)号: | CN115950536A | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
发明(设计)人: | 应翔霄;周易;周建;田惠莲;陈建新 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | G01J5/0802 | 分类号: | G01J5/0802;B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G02B5/20;G01J5/10 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 200080 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种基于圆弧型悬臂微桥工艺的静电调谐滤波器及其制备方法,电调谐滤波器由下而上依次的硅衬底层、底部“回”字形金电极层、空气悬空层、顶部“S”形硅桥面层和顶部金“插指”电极层构成;硅顶部桥面层的桥面悬臂拐角和桥腿固定连接处为“圆弧”结构,顶部金“插指”电极层的四个内边各有一根“插指”电极,该“插指”电极的固定端的圆弧半径与硅顶部桥面层的拐角的桥面圆弧一致。本发明的圆弧形微桥结构有效解决传统“直臂”型结构中90°拐角处和悬臂固定点存在应力过大且集中导致结构翘曲、倾斜、坍塌等问题,保证整体桥面一致性,且桥面总体应力均匀。该发明可用于红外探测器表面集成滤波片,获得紧凑片上集成的动态滤波调谐的探测功能。 | ||
搜索关键词: | 基于 圆弧 悬臂 工艺 静电 调谐 滤波器 及其 制备 方法 | ||
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