[发明专利]一种制备S形结构热障涂层的装置和方法在审
| 申请号： | 202211027231.2 | 申请日： | 2022-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN115287608A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 姜春竹;崔向中;高巍;周国栋;马江宁;赵聪;吕明达 | 申请（专利权）人： | 中国航空制造技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100024 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备S形结构热障涂层的装置和方法，包括以下步骤：在腔室中设置至少两组装有待蒸发物的坩埚；将经处理后的基材设置在所述装有待蒸发物的各坩埚上方，且使所述基材位于相邻的所述各坩埚之间；开启运动机构，使所述基材在腔室内产生自转运动；交替控制所述各坩埚内待蒸发物的蒸发状态和所述基材的自转方向，进行沉积涂层，重复上述过程若干次，直到涂层厚度满足要求为止；本发明设置两个固定位置的蒸发源沉积涂层，通过交替控制每个蒸发源的蒸发时间，实现了低热导率S形结构热障涂层的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 结构 热障 涂层 装置 方法 | ||
【主权项】：
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