[发明专利]确定玻璃基板和涂敷机之间距离的装置和方法在审
| 申请号： | 202080014174.7 | 申请日： | 2020-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN113454038A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | D·里默;I·R·威廉斯;S·R·戴;P·M·哈里斯;D·埃文斯 | 申请（专利权）人： | 皮尔金顿集团有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;C23C16/458;C23C16/52;G01D5/24;G01R27/26 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 英国兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种化学气相沉积(CVD)涂敷机和至少一个电容式接近传感器的组合体，包括：CVD涂敷机，和至少一个电容式接近传感器，其附接到所述CVD涂敷机，其中所述至少一个电容式接近传感器被布置成确定玻璃基板与所述CVD涂敷机之间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 玻璃 涂敷机 之间 距离 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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